[发明专利]一种基于高阶同步的耦合压阻MEMS振荡器有效
| 申请号： | 201711270965.2 | 申请日： | 2017-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN107979351B | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 韦学勇;浦东;徐柳;宦荣华;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种基于高阶同步的耦合压阻MEMS振荡器，包括两个并列排布的两个双端固支音叉梁，两个双端固支音叉梁的左右两端分别与衬底绝缘层固结的两个电极固定，使双端固支音叉梁悬置在镂空的衬底上；每一个双端固支音叉梁中间外侧伸出的电容极板一个电容极板配合，通过静电力的作用激励起双端固支音叉梁弯曲方向上的振动；两个双端固支音叉梁中间内侧伸出的平行电极板通过静电力进行相互作用，并通过对双端固支音叉梁中间电势的控制来调节相互耦合作用的大小；本发明实现同步，并且利用高阶同步中的频率倍比锁定关系提高作为传感器时的标度因子、灵敏度，从而提高检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 同步 耦合 mems 振荡器 | ||
【主权项】：
一种基于高阶同步的耦合压阻MEMS振荡器，包括两个并列排布的第一双端固支音叉梁(4‑1)和第二双端固支音叉梁(4‑2)，其特征在于：第一双端固支音叉梁(4‑1)的左右两端分别与衬底绝缘层固结的第一电极(1‑1)和第二电极(3‑1)固定，使第一双端固支音叉梁(4‑1)悬置在镂空的衬底上；第二双端固支音叉梁(4‑2)的左右两端分别与衬底绝缘层固结的第四电极(1‑2)和第五电极(3‑2)固定，使第二双端固支音叉梁(4‑2)悬置在镂空的衬底上；第一双端固支音叉梁(4‑1)中间外侧伸出的第一电容极板(7‑1)与第三电极(2‑1)伸出的第二电容极板(6‑1)配合，第二双端固支音叉梁(4‑2)中间外侧伸出的第三电容极板(7‑2)与第六电极伸出的第四电容极板(6‑2)配合，通过静电力的作用激励起第一双端固支音叉梁(4‑1)、第二双端固支音叉梁(4‑2)的弯曲方向上的振动；第一双端固支音叉梁(4‑1)中间内侧伸出的第一平行电极板(5‑1)和第二双端固支音叉梁(4‑2)中间内侧伸出的第二平行电极板(5‑2)通过静电力进行相互作用，并通过对第一双端固支音叉梁(4‑1)、第二双端固支音叉梁(4‑2)中间电势的控制来调节相互耦合作用的大小。
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