[发明专利]基于数字微镜器件无掩膜光刻的旋转式曝光系统及方法在审
| 申请号： | 201711041925.0 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN107908077A | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 李木军;季超;朱俊杰;邱金峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司11260 | 代理人： | 郑立明,付久春 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于数字微镜器件无掩膜光刻的旋转式曝光系统及方法，系统包括执行机构包括旋转运动机构和直线进给机构；旋转运动机构设置在直线进给机构上，旋转运动机构上设有能安装辊压模具毛坯的刚性柱面基底的承接单元；控制系统与执行机构通信连接，能控制执行机构运动；光学系统包括计算机、DMD数字掩膜、照明子系统、调焦子系统和投影成像子系统；其中，计算机分别与DMD数字掩膜和调焦子系统通信连接，DMD数字掩膜、调焦子系统和投影成像子系统依次设在照明子系统的光路上，投影成像子系统的曝光输出端对应照射于执行机构的刚性柱面基底上所需曝光区域上。经过后续电铸处理能实现辊压模具上微结构的低成本制造。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 数字 器件 无掩膜 光刻 旋转 曝光 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基于数字微镜器件无掩膜光刻的旋转式曝光系统，其特征在于，包括：执行机构、控制系统和光学系统；其中，所述执行机构包括：旋转运动机构和直线进给机构；所述旋转运动机构设置在所述直线进给机构上，所述旋转运动机构上设有能安装辊压模具毛坯的刚性柱面基底的承接单元，所述执行机构能带动所安装的辊压模具进行旋转分运动和直线进给分运动；所述控制系统与所述执行机构通信连接，能控制所述执行机构带动所安装的辊压模具进行旋转分运动和直线进给分运动；所述光学系统包括：计算机、DMD数字掩膜、照明子系统、调焦子系统和投影成像子系统；其中，所述计算机分别与所述DMD数字掩膜和调焦子系统通信连接，所述DMD数字掩膜、调焦子系统和投影成像子系统依次设在所述照明子系统的光路上，所述投影成像子系统的曝光输出端对应照射于所述执行机构的刚性柱面基底所需曝光区域上。
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