[发明专利]一种单晶硅连续生产结晶加料设备及工艺在审
| 申请号： | 201710971901.9 | 申请日： | 2017-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN107604428A | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 路建华;陈钦强 | 申请（专利权）人： | 青海日晶光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 张宇 |
| 地址： | 817099 青海省海西蒙古族*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅连续生产结晶加料设备及工艺，包括炉体、水冷管、炉盖、石英坩埚和二次加料装置，炉体的顶端设有用于密封的炉盖，炉盖的中部穿插设有用于加料的二次加料装置，炉体的内部设有盛放硅料的石英坩埚，石英坩埚的外侧设有用于加热融化硅料的加热板，加热板的外侧设有用于冷却融化后硅料的水冷管，水冷管的两端分别与两个连接管的一端相通，两个连接管的另一端均穿过炉体的侧壁，其中一个连接管上设有电磁阀。通过在加料前通过降温度让炉内硅料结晶，形成固体，加料时将固体硅料加到炉内的结晶固体上，从而达到避免硅料溅到其他石墨件上的风险，为后续拉晶创造合适条件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 连续生产 结晶 加料 设备 工艺 | ||
【主权项】：
一种单晶硅连续生产结晶加料设备，包括炉体(3)、水冷管(9)、炉盖(2)、石英坩埚(8)和二次加料装置(1)，其特征在于，所述炉体(3)的顶端设有用于密封的炉盖(2)，所述炉盖(2)的中部穿插设有用于加料的二次加料装置(1)，所述炉体(3)的内部设有盛放硅料的石英坩埚(8)，所述石英坩埚(8)的外侧设有用于加热融化硅料的加热板(4)，所述加热板(4)的外侧设有用于冷却融化后硅料的水冷管(9)，所述水冷管(9)的两端分别与两个连接管(10)的一端相通，两个所述连接管(10)的另一端均穿过炉体(3)的侧壁，其中一个所述连接管(10)上设有电磁阀(14)，所述石英坩埚(8)的底端固定设有用于支撑的托盘(7)，所述托盘(7)的底端通过连接轴与电机(6)的转轴固定连接，所述炉体(3)上设有控制箱(5)，所述控制箱(5)上分别嵌设有转动开关(11)、加热开关(12)和冷却开关(13)，所述电机(6)与转动开关(11)电性连接，所述加热板(4)与加热开关(12)电性连接，所述电磁阀(14)与冷却开关(13)电性连接，所述转动开关(11)、加热开关(12)和冷却开关(13)均与外接电源电性连接。
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