[发明专利]滑动构件及其制造方法有效
| 申请号： | 201710874029.6 | 申请日： | 2017-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN107868936B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 真锅和干;梅原德次;上坂裕之;市村和之 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社;国立大学法人名古屋大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/30;C23C14/48 |
| 代理公司： | 11247 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 刘航;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供在润滑油中的环境下能够确保比以往更低的摩擦系数的滑动构件及其制造方法。滑动构件(10)的非晶质碳被膜(12)满足以下关系：在将通过单键配位了3个碳原子的氮原子的个数记为A、将通过单键和双键配位了2个碳原子的氮原子的个数记为B时，通过对非晶质碳被膜(12)进行X射线光电子能谱分析所得到的非晶质碳被膜(12)的A/B值为10以上且18以下。在滑动构件(10)的制造方法中，通过朝向基材(11)的表面照射氮离子束，并且对碳靶T照射电子束E，从而一边使碳靶T的一部分蒸镀于基材(11)的表面，一边形成非晶质碳被膜(12)。对碳靶T照射的电子束E的输出功率为30W以上且50W以下。 | ||
| 搜索关键词： | 滑动 构件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种滑动构件，其特征在于，是在基材的表面具有含有氮原子的非晶质碳被膜、并且在润滑油中滑动的滑动构件，/n在将通过单键配位了3个碳原子的氮原子的个数记为A、将通过单键和双键配位了2个碳原子的氮原子的个数记为B时，根据通过对所述非晶质碳被膜进行X射线光电子能谱分析所得到的结合能与强度的波形，算出起因于所述个数A的值即波形wa的峰的面积、和起因于所述个数B的值即波形wb的峰的面积，根据所述波形wa的峰的面积相对于所述波形wb的峰的面积的比算出的所述非晶质碳被膜的A/B值为10以上且18以下。/n
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