[发明专利]制造分体式掩模的方法有效
| 申请号： | 201710863820.7 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN107868934B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 金宗范;李尚玟;白大源;宋珉澈;李相信;李丞赈;全志姸 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种制造分体式掩模的方法，所述方法包括：在第一方向上拉伸掩模构件的相对端部以将掩模构件固定至固定部分；在所固定的掩模构件上形成具有多个第一开口的第一图案部分，使得第一图案部分朝向第一图案部分的中部在第一方向上具有较长的长度；以及切割掩模构件的相对端部以使掩模构件从固定部分分离。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 体式 方法 | ||
【主权项】：
制造分体式掩模的方法，所述方法包括：在第一方向上拉伸掩模构件的相对端部以将所述掩模构件固定至固定部分；在所固定的掩模构件上形成具有多个第一开口的第一图案部分，使得所述第一图案部分朝向所述第一图案部分的中部在所述第一方向上具有较长的长度；以及切割所述掩模构件的所述相对端部以使所述掩模构件从所述固定部分分离。
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