[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法

摘要

本发明提供基板处理装置及基板处理方法。即使在一次蚀刻处理中溶解的蚀刻对象物的量多的情况下也能使处理槽内的处理液浓度稳定。基板处理装置以向包括规定的药液以及纯水的处理液浸渍基板的方式对该基板进行规定的处理。此外，其具备：处理槽，用于进行规定处理的处理液存储于基板；供给部，用于向处理槽供给所述药液或所述纯水；排出部，用于排出存储于处理槽内的处理液；控制部，用于控制由供给部供给药液或纯水；控制部在执行规定处理时向供给部供给药液或所述纯水。

主权项

一种基板处理装置，通过使基板浸渍于包括规定的药液和纯水的处理液来对该基板进行规定的处理，其中，具备：处理槽，存储有用于对所述基板进行所述规定的处理的所述处理液；供给部，向所述处理槽供给所述药液或所述纯水；排出部，排出存储于所述处理槽内的所述处理液；以及控制部，控制基于所述供给部的所述药液或所述纯水的供给；在执行所述规定的处理中，所述控制部使所述供给部供给所述药液或所述纯水。