[发明专利]用于将材料薄膜沉积在衬底上的设备和方法有效
| 申请号： | 201710683144.5 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN107574407B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 西达尔塔·哈里克思希纳·莫汉;保罗·E·伯罗斯 | 申请（专利权）人： | 环球展览公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/22;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李琳 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于将材料薄膜沉积在衬底上的设备和方法。所述设备包括：多个喷嘴，其与载气和待沉积的材料流体连通；以及平移机构，其经配置以在沉积过程期间，使所述衬底和所述多个喷嘴中的至少一者相对于彼此移动，其中所述喷嘴中的至少两者包含不同几何形状。喷嘴群组中沉积元件的所述喷嘴中的至少一者可经配置以用小于所述元件的宽度的宽度将所述材料沉积在所述衬底上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 材料 薄膜 沉积 衬底 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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