[发明专利]一种基于台面多区复合JTE终端结构的器件及其制作方法

摘要

本发明提供一种基于台面多区复合JTE终端结构的器件制作方法，其中包括在晶圆片表面制作有源区，淀积氧化物层并进行图形化，形成台面区开孔；刻蚀氧化物层以及晶圆片材料，形成终端台面；在终端台面表面淀积氧化物层并进行图形化，形成晶圆片材料凹槽开孔；刻蚀氧化物层和晶圆片材料，形成晶圆片材料凹槽；淀积氧化物层，进行JTE区开孔，形成JTE终端；淀积氧化物层，进行截止环开孔，形成截止环；在器件正面淀积氧化物层形成场氧保护，在器件背面形成阴极；对器件正面的氧化物进行图形化，在器件正面形成阳极。本发明还提供一种基于台面多区复合JTE终端结构的器件。本发明能够降低JTE离子注入剂量的灵敏度，提高器件的耐压能力。

主权项

一种基于台面多区复合JTE终端结构的器件制作方法，其特征在于，包括：步骤一、在晶圆片表面制作有源区，淀积第一氧化物层并进行图形化，形成台面区开孔；步骤二、刻蚀所述第一氧化物层以及晶圆片材料，形成终端台面；步骤三、在所述终端台面的表面淀积第二氧化物层并进行图形化，形成晶圆片材料凹槽开孔；步骤四、刻蚀所述第二氧化物层和晶圆片材料，形成晶圆片材料凹槽；步骤五、淀积第三氧化物层，进行JTE区开孔，离子注入形成JTE终端；步骤六、淀积第四氧化物层，进行截止环开孔，离子注入形成截止环；步骤七、在所述器件正面淀积第五氧化物层形成场氧保护，在所述器件背面形成阴极；步骤八、对所述器件正面的所述第五氧化物进行图形化，在所述器件正面形成阳极。