[发明专利]一种基于PDMS振膜的MEMS静电执行器及制作方法在审
| 申请号： | 201710403984.1 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN107215845A | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 魏峰;赵鸿滨;苑鹏;杨志民;杜军;徐瑶华 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;F04B43/04 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司11246 | 代理人： | 朱琨 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)振膜的静电执行器及制作方法。该具有静电执行器是以PDMS薄膜作为可以往复运动的高弹性薄膜作为振膜形成执行器部件，与以往全Si静电执行器相比，本发明所述基于PDMS静电执行器不仅可以简化MEMS微泵的加工工艺，降低材料成本，由于其弹性模量比Si小，可降低全Si静电执行器件的驱动电压。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 pdms mems 静电 执行 制作方法 | ||
【主权项】：
一种基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)振膜的MEMS静电执行器，由复合振动薄膜层、下电极层和硅结构层组成，其特征在于，复合振动薄膜层由两层PDMS薄膜层中间夹一层导电薄膜层组成。
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