[发明专利]有机电致发光器件制备方法及装置和有机电致发光器件有效
| 申请号： | 201710293723.9 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN106992266B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 汪军;赵策;王东方;周斌 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 林桐苒;李丹 |
| 地址： | 230011 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本文公开了一种有机电致发光器件制备方法及装置和有机电致发光器件，其制备方法包括：调整周期性光栅结构的光栅周期，以使SP耦合出射的光波波长处于有机电致发光器件的发光峰预设范围内；按照得到的光栅周期，在有机电致发光器件中设置周期性光栅结构。通过在有机电致发光器件如OLED器件中设置周期性光栅结构，使得光波与SP耦合，实现了将在金属电极界面损失的光子能量通过SPP的调控重新取回，增加了有机电致发光器件如OLED器件的光输出，从而提高了发光器件如OLED器件的发光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 电致发光 器件 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种有机电致发光器件制备方法，其特征在于，包括：调整周期性光栅结构的光栅周期，以使表面等离子体SP耦合出射的光波波长处于有机电致发光器件的发光峰预设范围内；按照得到的光栅周期，在有机电致发光器件中设置周期性光栅结构，包括：在薄膜晶体管TFT基板的钝化层PVX上对应的电激发光EL发光区域采用干刻或曝光显影方式制备所述周期性光栅结构；在所述周期性光栅结构上以溅射方式沉积一层反射金属层，使其在EL发光区域能够复制其下方的周期性光栅结构；在反射金属层之上以等离子气相沉积PCVD技术沉积一层绝缘层；在绝缘层上以溅射方式沉积透明导电氧化物作为阳极，在透明导电氧化物之上以蒸镀方式沉积EL发光层；在EL发光层之上以热蒸发方式制备透明金属阴极。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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