[发明专利]一种加工微纳器件的金属微滴喷射增材制造系统及方法

摘要

本发明公开了一种加工微纳器件的金属微滴喷射增材制造系统及方法，系统由产生区、筛选区、转向区和加工区组成，且四区均为真空；产生区用于产生带电金属液滴，使液滴获得初速度；筛选区用于产生匀强电场和产生匀强磁场；转向区用于产生匀强电场和产生匀强磁场；加工区用于实现复杂微纳结构的打印加工，且不需要支撑等额外构架。本发明通过电场和磁场的组合，可实现带电金属液滴的精确控制；电磁场控制，对所产生的金属液滴进行筛选，可以确保进入加工区的液滴均满足条件，保证加工精度；可以打印具有复杂结构的微纳器件，且不需要加打印支撑等额外架构，节省材料，去掉了后续去除支撑的工序。

主权项

1.一种加工微纳器件的金属微滴喷射增材制造系统，其特征在于：由产生区（4）、筛选区（8）、转向区（12）和加工区（17）组成，所述产生区（4）、筛选区（8）、转向区（12）和加工区（17）均为真空；所述产生区（4）用于产生带电金属液滴，使液滴获得初速度；所述筛选区（8）用于产生匀强电场和产生匀强磁场；所述转向区（12）用于产生匀强电场和产生匀强磁场；所述加工区（17）用于实现复杂微纳结构的打印加工，且不需要支撑的额外构架；所述加工区（17）包括第三匀强电场发生器（18）、基板（19）、电极层（20）、放置层（21）、电压调节装置（22）和电荷调节装置（23）；所述加工区（17）设置有加工区入口（16）；所述第三匀强电场发生器（18）用于产生匀强电场，所述基板（19）用于加工和放置加工器件；所述放置层（21）为压电陶瓷层，在不同电压作用下产生相应的变形；所述基板（19）固定在电极层（20）上，基板（19）与电荷调节装置（23）相连；电极层（20）与电压调节装置（22）连接，通过电压改变，使得放置层（21）产生变形，调节基板（19）位置，实现基板（19）的定位。