[发明专利]用于OLED蒸镀的荫罩及其制作方法、OLED面板的制作方法有效
| 申请号： | 201710244511.1 | 申请日： | 2017-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN108728789B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 孔杰;居宇涵 | 申请（专利权）人： | 上海视欧光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201206 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于OLED蒸镀的荫罩及其制作方法、OLED面板的制作方法，其中荫罩的制作方法包括：包括：提供绝缘体上半导体衬底，包括底层半导体层、绝缘层和顶层半导体层；在顶层半导体层中形成网格状的支撑层；形成覆盖网格状的支撑层和顶层半导体层表面的格栅膜层；刻蚀格栅膜层，在格栅膜层中形成若干呈阵列排布的开口，且开口暴露出网格状的支撑层之间的顶层半导体层；沿底层半导体层的表面刻蚀部分绝缘体上半导体衬底，在绝缘体上半导体衬底中形成暴露出格栅膜层中的若干开口以及相邻开口之间的网格状支撑层的凹槽。本发明形成的荫罩中开口的尺寸可以较小并形貌较好；支撑层防止格栅膜层的自重而产生变形；绝缘层能精确的控制支撑层的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 oled 及其 制作方法 面板 | ||
【主权项】：
1.一种用于OLED蒸镀的荫罩的制作方法，其特征在于，包括：提供绝缘体上半导体衬底，所述绝缘体上半导体衬底包括底层半导体层、位于底层半导体层上的绝缘层、位于绝缘层上的顶层半导体层；在所述顶层半导体层中形成网格状的支撑层，所述网格状的支撑层表面与顶层半导体层表面齐平；形成覆盖所述网格状的支撑层和顶层半导体层表面的格栅膜层；刻蚀部分所述格栅膜层，在所述格栅膜层中形成若干呈阵列排布的开口，且所述开口暴露出网格状的支撑层之间的顶层半导体层；沿底层半导体层的表面刻蚀部分所述底层半导体层、绝缘层和网格状支撑层之间的顶层半导体衬底，在底层半导体层、绝缘层和顶层半导体层中形成暴露出格栅膜层中的若干开口以及相邻开口之间的网格状支撑层的凹槽。
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