[发明专利]一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法

摘要

本发明提供的一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法，首先选用晶片贴片上蜡机将衬底的正面粘在陶瓷盘上，再将陶瓷盘放入自制游星轮中，通过双面研磨设备进行研磨，其中研磨液配置比例为碳化硅研磨粉悬浮液去离子水=1Kg0.1L1L~5L，其中悬浮液为亚硝酸钠与三乙醇胺的质量比是１９的混合溶液，研磨设备的下盘速度设定为20转/分钟，上盘设定为15转/分钟，研磨液流量设定为300mL/分钟，压力为陶瓷盘的自重即为5.7KG，加工时间为10分钟；将研磨后的衬底进行脱胶、清洗、退火、抛光；经修复后的蓝宝石衬底，其质量指标均达到行业标准，质量标准满足客户需求，无需进行报废处理，良品率有着显著提升，大大降低了成本。

主权项

一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法，其特征在于，包括以下工艺步骤：(1)贴片：选用晶片贴片上蜡机，将衬底正面粘贴在陶瓷盘上，然后将表面残留胶擦拭干净；(2)制备研磨液：采用碳化硅研磨粉、悬浮剂与去离子水混合制备研磨液，配置比例为碳化硅研磨粉：悬浮液：去离子水=1Kg：0.1L：1L~5L，搅拌速度为600转/分钟，研磨时间至少为10分钟使研磨液均匀分布；(3)装配载具：将陶瓷盘放入载具，即自制的游星轮中，使陶瓷盘能够自转，陶瓷盘与游星轮同时放入双面研磨设备的下盘上，均匀分布摆置；(4)研磨：双面研磨设备的下盘速度设定为20转/分钟，上盘设定为15转/分钟，确保上盘悬空于陶瓷盘上，不得接触陶瓷盘表面，研磨液流量设定为300mL/分钟，压力为陶瓷盘的自重即为5.7KG，加工时间为10分钟；(5)将研磨后的衬底进行脱胶、清洗、退火、抛光即得蓝宝石衬底成品。