[发明专利]一种高质量TiN薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种高质量的TiN薄膜的制备方法，包括以下步骤选用Ti铸锭经锻造、轧制、热处理、校平和机加工后制成钛板条；然后对其进行激光雕刻处理，并用卷圆机将雕刻后的钛板条卷圆成钛环，清洗烘干后，得到溅射钛环；以钢片作为基体，将钛环和钛钯采用导电胶粘结好作为靶材，在钢片上沉积TiN薄膜。本发明合理调节溅射工艺，使得制得的TiN薄膜致密均匀，耐磨耐腐蚀性能优异，表面光滑平整度好，与基体的结合力大，力学性能好。

主权项

一种高质量的TiN薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)选用纯度为99.95％以上的Ti铸锭经锻造、轧制、热处理、校平和机加工后制成钛板条；然后用丙硝酸和氢氟酸组成的混合酸清洗，再依次用去离子水、无水乙醇清洗，真空干燥；然后用激光雕刻钛板条各表面；最后用卷圆机将雕刻后的钛板条卷圆成钛环，清洗烘干后，得到溅射钛环；(2)采用钢片作为基体，在制备氮化钛薄膜前，将钢片依次浸泡到洗涤剂和丙酮中，超声震荡5‑15min，后取出，采用乙醇和去离子水清洗，真空干燥，待用；(3)将钛环和钛钯采用导电胶粘结好作为靶材，将预处理后的钢片安装在溅射室内的样品台上，并将上述靶材安装在溅射靶台上；对溅射室进行抽真空处理，并利用电阻加热器对样品台进行加热，单独向溅射室内通入氩气和氮气，经闸板阀调节溅射室内气压为1.0Pa，经外加电压等离子化后，调节各工艺参数，在钢片上沉积TiN薄膜。