[发明专利]激光直接成像曝光机用聚焦结构及聚焦方法在审
| 申请号： | 201710132090.3 | 申请日： | 2017-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN106814554A | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 李显杰 | 申请（专利权）人： | 无锡影速半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴区太湖*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光直接成像曝光机用聚焦结构及聚焦方法，其包括曝光平台以及位于所述曝光平台正上方的投影物镜；所述曝光平台包括用于承载待曝光板体的吸盘，所述吸盘与用于所述驱动吸盘升降的吸盘升降驱动机构连接；在所述投影物镜的一侧设有聚焦光源，投影物镜的另一侧设置用于接收聚焦光源经过待曝光板体后投影光线的光线探测器，所述光线探测器与吸盘升降驱动机构连接，光线探测器根据投影光线的状态能控制吸盘升降驱动机构的工作状态，直至使得吸盘上的待曝光板体处于最佳焦面位置。本发明结构紧凑，能有效实现曝光成像的聚焦，避免投影物镜的损坏，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 直接 成像 曝光 聚焦 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种激光直接成像曝光机用聚焦结构，包括曝光平台以及位于所述曝光平台正上方的投影物镜（4）；其特征是：所述曝光平台包括用于承载待曝光板体（5）的吸盘（6），所述吸盘（6）与用于所述驱动吸盘（6）升降的吸盘升降驱动机构（7）连接；在所述投影物镜（4）的一侧设有聚焦光源（1），投影物镜（4）的另一侧设置用于接收聚焦光源（1）经过待曝光板体（5）后投影光线的光线探测器（10），所述光线探测器（10）与吸盘升降驱动机构（7）连接，光线探测器（10）根据投影光线的状态能控制吸盘升降驱动机构（7）的工作状态，直至使得吸盘（6）上的待曝光板体（5）处于最佳焦面位置。
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