[发明专利]激光装置以及激光加工系统有效
申请号: | 201680090114.7 | 申请日: | 2016-12-08 |
公开(公告)号: | CN109891688B | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 柿崎弘司;若林理 | 申请(专利权)人: | 极光先进雷射株式会社 |
主分类号: | H01S3/10 | 分类号: | H01S3/10 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 金玲;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 激光装置具备:A、固态激光装置,其输出包括多个脉冲的突发种子脉冲光;B、准分子放大器,其在放电空间中,利用一次放电对突发种子脉冲光进行放大,并作为放大突发脉冲光输出;C、能量传感器,其计测放大突发脉冲光的能量;以及D、激光控制部,其基于从所述固态激光装置输出突发种子脉冲光的时机与在放电空间中产生放电的时机之差和能量的计测值之间的关系,校正使固态激光装置输出突发种子脉冲光的时机。 | ||
搜索关键词: | 激光 装置 以及 加工 系统 | ||
【主权项】:
1.一种激光装置,其具备:A、固态激光装置,其输出包括多个脉冲的突发种子脉冲光;B、准分子放大器,其在放电空间中,利用一次放电对所述突发种子脉冲光进行放大,作为放大突发脉冲光进行输出;C、能量传感器,其计测所述放大突发脉冲光的能量;以及D、激光控制部,其基于从所述固态激光装置输出所述突发种子脉冲光的时机与在所述放电空间中产生放电的时机之差和所述能量的计测值之间的关系,校正使所述固态激光装置输出所述突发种子脉冲光的时机。
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