[发明专利]芴衍生物、包含其的光聚合引发剂及光致抗蚀剂组合物

摘要

本发明涉及新型芴衍生物、包含芴衍生物的光聚合引发剂及光致抗蚀剂组合物，根据本发明的芴衍生物具有如下优点：通过在芴的9位包含特定的不饱和取代基，能够提供在宽范围的吸收光谱中可实现高灵敏度的光聚合引发剂及光致抗蚀剂组合物。

主权项

一种芴衍生物，其具有由下述化学式1表示的不饱和基团，[化学式1]在化学式1中，R₁至R₈各自独立地为氢、氘、卤素、(C1‑C30)烷基、(C3‑C30)环烷基、(C3‑C30)杂环烷基、(C6‑C30)芳基、(C3‑C30)杂芳基、氨基(‑NH₂)、硝基(‑NO₂)、氰基(‑CN)、‑OR₂₁、‑SR₂₁、‑OC(＝O)R₂₁、‑C(＝O)R₂₁、‑C(＝O)OR₂₂或R₁至R₈中的至少一者为n为0或1的整数，R₂₁至R₂₄各自独立地为(C1‑C30)烷基、(C3‑C30)环烷基(C1‑C30)烷基、(C3‑C30)环烷基、(C3‑C30)杂环烷基、(C6‑C30)芳基、(C3‑C30)杂芳基、‑OR₃₁、‑SR₃₁、‑C(＝O)R₃₁、‑C(＝O)OR₃₂、‑NR₃₁R₃₂或‑P(＝O)(OR₃₂)(OR₃₃)，所述R₃₁至R₃₃各自独立地为氢、氘、卤素、(C1‑C30)烷基、(C3‑C30)环烷基、(C3‑C30)杂环烷基、(C6‑C30)芳基、(C3‑C30)杂芳基；A为所述R₉和R₁₀各自独立地为(C1‑C30)烷基、(C2‑C30)烯基或(C2‑C30)炔基，所述R₉和R₁₀能够彼此连接而形成环、或者形成通过单键、(C1‑C5)亚烷基、(C2‑C5)亚烯基、(C2‑C5)亚炔基、(C6‑C12)亚芳基或‑Y₁‑Z₁‑Y₂‑连接的二聚物，所述Y₁和Y₂各自独立地为(C1‑C5)亚烷基，所述Z₁为(C6‑C12)亚芳基，所述R₉或R₁₀必须包含一种以上的不饱和基团，所述R₁₁至R₁₃各自独立地为氢、氘、卤素、(C1‑C30)烷基、(C2‑C30)烯基、(C2‑C30)炔基、(C1‑C30)烷氧基、(C3‑C30)环烷基、(C3‑C30)杂环烷基、(C6‑C30)芳基、(C3‑C30)杂芳基、‑O(C＝O)R₁₄、‑O‑L₁‑OH或–S‑L₁‑SH，所述R₁₄为(C1‑C30)烷基，所述L₁为(C2‑C30)亚烷基或(C2‑C30)亚烯基，所述R₁₂和R₁₃能够彼此连接而形成环；所述R₁至R₈的烷基、环烷基、杂环烷基、芳基和杂芳基、所述R₂₁至R₂₄的烷基、环烷基烷基、环烷基、杂环烷基、芳基和杂芳基、所述R₉和R₁₀的烷基、烯基、炔基和R₉和R₁₀彼此连接而形成的环、以及所述R₁₁至R₁₃的烷基、烯基、炔基、烷氧基、环烷基、杂环烷基、芳基、杂芳基各自独立地能够被选自由(C1‑C30)烷基、(C2‑C30)烯基、(C3‑C30)环烷基、(C3‑C30)杂环烷基、卤素、氰基、硝基、‑CR^d、‑OR^a、‑SR^a、‑NR^bR^c、‑C(＝O)R^a、‑C(＝O)OR^a、‑C(＝O)NR^bR^c、和P(＝O)(OR^a)(OR^b)组成的组中的一个以上的取代基进一步取代，所述m为0或1的整数，所述R^a、R^b和R^c各自独立地为氢、氘(deuterium)、卤素、(C1‑C30)烷基、(C2‑C30)烯基、(C3‑C30)环烷基(C1‑C30)烷基、(C3‑C30)环烷基、(C3‑C30)杂环烷基、(C6‑C30)芳基或(C3‑C30)杂芳基，所述R^d为卤素，所述杂环烷基和杂芳基包含选自B、N、O、S、P(＝O)、Si和P中的一个以上的杂原子。