[实用新型]一种用于夹持半导体器件的夹具

摘要

本实用新型涉及一种用于夹持半导体器件的夹具，属于半导体光学电子技术领域，包括基座、支撑件、夹持件、拉杆、挡板及弹性件；支撑件固定设置于基座且设置有用于放置样品的工作端面，工作端面相对于基座的端面倾斜，工作端面设置有用于支撑样品的限位台；夹持件包括连接板和侧板，连接板与侧板连接，侧板与支撑件连接；连接板开设有第一定位孔，拉杆穿设于第一定位孔，拉杆的一端与挡板固定连接，弹性件套设于拉杆且抵接于连接板和挡板之间，挡板与支撑件之间形成用于夹持样品的夹持区。本实施例提供的夹具，结构简单，便于样品装夹，能够保证样品非高反膜生长面上不生长高反膜，样品合格率高。

主权项

一种用于夹持半导体器件的夹具，其特征在于，包括基座、支撑件、夹持件、拉杆、挡板及弹性件；所述支撑件固定设置于所述基座且设置有用于放置样品的工作端面，所述工作端面相对于所述基座的端面倾斜，所述工作端面设置有用于支撑样品的限位台；所述夹持件包括连接板和侧板，所述连接板与所述侧板连接，所述侧板与所述支撑件连接；所述连接板开设有第一定位孔，所述拉杆穿设于所述第一定位孔，所述拉杆的一端与所述挡板固定连接，所述弹性件套设于所述拉杆且抵接于所述连接板和所述挡板之间，所述挡板与所述支撑件之间形成用于夹持样品的夹持区。