[实用新型]一种新型半导体硅片研磨砂浆流量泵控制面板

摘要

一种新型半导体硅片研磨砂浆流量泵控制面板，涉及硅片研磨设备辅助技术领域，由板体、轻触开关、导线和插拔板构成，在板体上设有轻触开关，轻触开关上设有导线，导线的一端与轻触开关相连接，导线的另一端与插拔板相连接，轻触开关由开关盖、柱塞、弹簧和底座构成，底座内设有接点，接点上设有弹簧，弹簧上设有柱塞，柱塞通过开关盖封闭在底座上，底座的外侧面设有端子，接点和端子相连通；本实用新型实用性强，使用起来比较简单，不但实现了砂浆流量泵与磨片机连接自动化连接，而且解决按键使用寿命短和按键线路之间短路的问题，可以有效提高生产效率，提高砂浆泵使用率，从而提高了硅片研磨的质量，减少砂浆泵维修成本。

主权项

一种新型半导体硅片研磨砂浆流量泵控制面板，包括万板体、轻触开关、导线和插拔板，其特征是：在板体上设有轻触开关，轻触开关上设有导线，导线的一端与轻触开关相连接，导线的另一端与插拔板相连接，轻触开关由开关盖、柱塞、弹簧和底座构成，底座内设有接点，接点上设有弹簧，弹簧上设有柱塞，柱塞通过开关盖封闭在底座上，底座的外侧面设有端子，接点和端子相连通。