[实用新型]有机膜蒸镀装置及有机膜装置有效
| 申请号： | 201620437301.5 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN205999477U | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 朴善淳;李海龙;金荣道;池成勋;洪沅义 | 申请（专利权）人： | 株式会社达文希斯 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12;H01L51/56;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 姜虎,陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型的有机膜蒸镀装置处理采用焦耳加热方式的有机膜蒸镀工序。有机膜蒸镀装置利用两个施体基板在元件基板蒸镀有机膜。有机膜蒸镀装置包括蒸镀装置，涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入到蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置，其中，蒸镀装置对涂覆有有机膜的第一施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将涂覆在第一施体基板上的有机膜蒸镀到第二施体基板，对蒸镀有有机膜的第二施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将蒸镀在第二施体基板上的有机膜蒸镀到元件基板。通过焦耳加热方式并利用第一及第二施体基板在元件基板形成有机膜，通过反复进行上述步骤，能够减少有机物损失并缩短工序时间。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 膜蒸镀 装置 | ||
【主权项】：
一种有机膜蒸镀装置，其包括蒸镀装置，涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入到所述蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置，其特征在于，所述蒸镀装置对涂覆有有机膜的所述第一施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将涂覆在所述第一施体基板上的有机膜蒸镀到所述第二施体基板上，接着对蒸镀有有机膜的所述第二施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将蒸镀在所述第二施体基板上的有机膜蒸镀到所述元件基板上。
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