[实用新型]一种脱胶机上料AGV车有效
申请号: | 201620324617.3 | 申请日: | 2016-04-15 |
公开(公告)号: | CN205621710U | 公开(公告)日: | 2016-10-05 |
发明(设计)人: | 张学强;靳立辉;周晓英;白聪轩;尹擎;赵晓光;姚长娟 | 申请(专利权)人: | 天津中环半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68;B60P7/06 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 陈雅洁 |
地址: | 300384 天津市滨海新区高新区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型创造提供了一种脱胶机上料AGV车,包括车体,所述车体上端对称设置有两个传送轨道,所述车体上端位于所述两个传送轨道之间处设置有沿所述传送轨道长度方向延伸的滑动槽,所述滑动槽内设置有夹紧块,所述夹紧块上端伸出所述滑动槽外,所述夹紧块下端与设置于车体内部的驱动装置电连接,所述滑动槽一端设置有限位板;所述车体前端设置有激光测距传感器。本实用新型创造所述的脱胶机上料AGV车结构新颖,设计合理,可以降低脱胶机上料的错误率,提升上料速度,提升脱胶机稼动率,增加产值,降低人工作业强度,减少操作人员数量,降低硅片的制作成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 脱胶 机上料 agv | ||
【主权项】:
一种脱胶机上料AGV车,其特征在于:包括车体(1),所述车体(1)上端对称设置有两个传送轨道(2),所述车体(1)上端位于所述两个传送轨道(2)之间处设置有沿所述传送轨道(2)长度方向延伸的滑动槽(4),所述滑动槽(4)内设置有夹紧块(5),所述夹紧块(5)上端伸出所述滑动槽(4)外,所述夹紧块(5)下端与设置于车体(1)内部的驱动装置电连接,所述滑动槽(4)一端设置有限位板(6)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造