[发明专利]一种高效硅片脱胶装置

摘要

本发明公开了一种高效硅片脱胶装置，包括固定环形机架、活动环形机架、脱胶支架、第一脱胶槽、第二脱胶槽、滤液槽，所述固定环形机架底部安装有一可转动的活动环形机架，活动环形机架底部安装有5个相互独立的伸缩杆，伸缩杆底部固定有脱胶支架，所述脱胶支架由顶板、竖直立柱、U型框、挡板组成，所述活动环形机架下方设有第一脱胶槽、第二脱胶槽和滤液槽。本发明通过将脱胶支架通过伸缩杆与活动环形机架相连，使得脱胶支架可自动经过第一脱胶槽、第二脱胶槽、滤液槽，使用方便，提高了脱胶效率。

主权项

一种高效硅片脱胶装置，其特征在于：包括固定环形机架（4）、活动环形机架（40）、脱胶支架（5）、第一脱胶槽（1）、第二脱胶槽（2）、滤液槽（3），所述固定环形机架（4）底部安装有一可转动的活动环形机架（40），活动环形机架（40）底部安装有5个相互独立的伸缩杆（41），伸缩杆（41）底部固定有脱胶支架（5），所述脱胶支架（5）由顶板（6）、竖直立柱（7）、U型框（70）、挡板（71）组成，所述顶板（6）底部固定有4根竖直立柱（7），4根竖直立柱（7）组成一矩形阵列，所述竖直立柱（7）所围区域内自上向下固定有若干水平设置的U型框（70），U型框（70）截面呈L形，所有U型框（70）的开口端均朝向一侧，所述顶板（6）底部固定有一可拆卸的挡板（71），挡板（71）位于U型框（70）的开口侧，所述活动环形机架（40）下方设有第一脱胶槽（1）、第二脱胶槽（2）和滤液槽（3），所述第一脱胶槽（1）底部安装有第一排液管（10），第一排液管（10）上安装有第一排液阀（11），所述第一脱胶槽（1）与第二脱胶槽（2）之间有通过第二排液管（20）相连，第二排液管（20）上安装有第二排液阀（21），所述第一脱胶槽（1）和第二脱胶槽（2）侧壁上均设有若干加热管（15），所述滤液槽（3）位于第二脱胶槽（2）的一侧，滤液槽（3）侧壁上设有若干吹风口（31）。