[发明专利]清洁膜的真空镀膜方法及镀膜器件在审
| 申请号： | 201611201051.6 | 申请日： | 2016-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN106521417A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 林志龙;曾妩;程朝阳;张俊惠 | 申请（专利权）人： | 北京科勒有限公司;南昌科勒有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/10 | 分类号： | C23C14/10;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京邦信阳专利商标代理有限公司11012 | 代理人： | 金玺 |
| 地址： | 101599 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种清洁膜的真空镀膜方法及镀膜器件，所述镀膜方法包括(1)对待镀件进行镀前预处理；(2)将所述待镀件安装到真空镀膜机上，抽真空，向所述待镀件提供保护气体，采用气体离子源装置产生气体等离子体，所述等离子体对所述待镀件进行蚀刻；(3)向旋转硅靶提供所述保护气体和反应气体，启动离子轰击电源，以便在所述待镀件上镀二氧化硅膜；(4)抽真空，向所述待镀件提供全氟聚合物，以便在所述待镀件上镀疏水疏油复合膜。本发明提供一种清洁膜的真空镀膜方法，镀膜工艺更加节能环保，清洁膜使得卫浴产品易于清洁，硬度高且耐磨耐腐蚀，使用寿命长，而且高透明性还能够增加卫浴产品的光泽度。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 真空镀膜 方法 镀膜 器件 | ||
【主权项】：
一种清洁膜的真空镀膜方法，其特征在于，包括：(1)对待镀件进行镀前预处理；(2)将所述待镀件安装到真空镀膜机上，抽真空，向所述待镀件提供保护气体，采用气体离子源装置产生气体等离子体，所述等离子体对所述待镀件进行蚀刻；(3)向旋转硅靶提供所述保护气体和反应气体，启动离子轰击电源，以便在所述待镀件上镀二氧化硅膜；(4)抽真空，向所述待镀件提供全氟聚合物，以便在所述待镀件上镀疏水疏油复合膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京科勒有限公司;南昌科勒有限公司，未经北京科勒有限公司;南昌科勒有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611201051.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：钒氧化物薄膜制备方法
- 下一篇：合金表面镀钛工艺
- 同类专利
- 专利分类
