[发明专利]正型感光性转印材料和电路布线的制造方法有效
申请号: | 201611190792.9 | 申请日: | 2016-12-20 |
公开(公告)号: | CN106959585B | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
发明(设计)人: | 片山晃男;汉那慎一 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/09;G03F7/30;G03F7/11;G03F7/40;H05K3/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 朱丹 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
提供一种正型感光性转印材料和电路布线的制造方法,即便在低温且高速下对基板贴合也具有高密合性,能够以高分辨率形成电路布线。正型感光性转印材料(100)和使用其的电路布线的制造方法,所述正型感光性转印材料(100)具有临时支撑体(12)和正型感光性树脂层(14),所述正型感光性树脂层(14)包含具有式A所示的结构单元且重均分子量为1.0×10 |
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搜索关键词: | 感光性 材料 电路 布线 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种正型感光性转印材料,其具有临时支撑体和正型感光性树脂层,所述正型感光性树脂层配置在所述临时支撑体上,所述正型感光性树脂层包含:具有下述式A所示的结构单元且重均分子量为1.0×105以下的聚合物、重均分子量比所述具有式A所示的结构单元的聚合物小的增塑剂、和光产酸剂,式A中,R31和R32各自独立地表示氢原子、烷基或芳基,至少R31和R32中的任一者为烷基或芳基,R33表示烷基或芳基,R31或R32与R33可以连结而形成环状醚,R34表示氢原子或甲基,X0表示单键或亚芳基。
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