[发明专利]一种激光干涉光刻光学系统

摘要

一种激光干涉光刻光学系统涉及激光干涉光刻加工技术领域，解决了现有技术中光学平台搭建复杂，易受到外界干扰，灵活度不高的问题。该系统包括至少一个分光镜、至少一个反射镜A、多个反射镜B、至少两个柔性光学铰链、至少两个半波片和至少两个偏光镜；柔性光学铰链由导光管和关节组成，每两个导光管通过一个关节连接；每个关节内部设置一个反射镜B；每个柔性光学铰链的出口内设置一个半波片，每个出口外设置一个偏振镜；本发明激光束经分光镜分光后，再经全反射镜反射并耦合进入光学铰链，经光学铰链末端输出。该技术减小了设备的面积，减少能量的损耗，避免对繁杂光路的调整和潜在的外界干扰，方便非专业人员进行激光干涉加工操作。

主权项

一种激光干涉光刻光学系统，其特征在于，该系统包括：至少一个分光镜、至少一个反射镜A、多个反射镜B、至少两个柔性光学铰链、至少两个半波片和至少两个偏光镜；所述柔性光学铰链由导光管和关节组成，每两个导光管通过一个关节连接；每个关节内部设置一个反射镜B；所述每个柔性光学铰链的出口内设置一个半波片，所述每个出口外设置一个偏振镜；所述光源发出光线，经过分光镜分光后，一部分光线反射进入柔性光学铰链内；一部分光线透射，通过至少一个反射镜A反射后进入柔性光学铰链内，或者经过另一个分光镜分光，一部分光线反射进入柔性光学铰链内；一部分光线透射，通过至少一个反射镜A反射后进入柔性光学铰链内；每束光线对应一个柔性光学铰链；进入柔性光学铰链的光束经过设置在关节上的反射镜B的多次反射，通过半波片和偏振镜，得到的多束偏振光在样品表面或内部汇聚发生干涉，形成干涉图案。