[发明专利]基于微纳操作机器人的高通量多模式表征系统和方法有效
| 申请号： | 201610962971.3 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106426085B | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 曹宁;谢少荣;罗均;龚振邦 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | B25J7/00 | 分类号： | B25J7/00 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 陆聪明 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于微纳操作机器人的高通量多模式表征系统和方法。该系统应用在扫描电子显微镜下，主要包括微纳操作机器人、测试单元切换装置、多模式测试单元。该系统所采用的方法为：利用扫描电子显微镜大视场搜索能力快速锁定目标，驱动微纳操作机器人对表征目标进行精准微操控，通过控制测试单元切换装置实现多模式测试单元的快速转换，达到末端执行器自动更换与多性能表征并行实施的目的，从而实现高通量多模式表征测试。本发明具备高通量多模式表征能力，且具有操控速度快、表征效率高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 操作 机器人 通量 模式 表征 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于微纳操作机器人的高通量多模式表征系统，应用在扫描电子显微镜下，其特征在于：微纳操作机器人安装在扫描电子显微镜内，所述微纳操作机器人的运动平台上分别安装测试单元切换装置，多模式测试单元分别固连在测试单元切换装置的不同工位夹具上，不同的末端执行器分别安装在多模式测试单元上。
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