[发明专利]外延片生产方法在审
| 申请号： | 201610917878.0 | 申请日： | 2016-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN106505093A | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 顾广安 | 申请（专利权）人： | 上海晶盟硅材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/331 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201707 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种外延片生产方法。所述外延片生产方法包括步骤提供衬底本体；提供本征硅层，将所述本征硅层铺设在所述衬底本体的上表面上；提供外延层，将所述外延层铺设在所述本征硅层的上表面。本发明衬底通过在衬底本体的上表面设置本征硅层，可将衬底本体与外延层隔开，从而避免衬底本体与外延层之间产生自掺杂问题。因而，所述衬底能够防止衬底本体中的掺杂剂进入外延层，可提高外延层平坦区以改善电阻率均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种外延片生产方法，其特征在于，包括步骤：提供衬底本体；提供本征硅层，将所述本征硅层铺设在所述衬底本体的上表面上；提供外延层，将所述外延层铺设在所述本征硅层的上表面。
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