[发明专利]测量间隙、厚度的方法及系统有效
| 申请号： | 201610912552.9 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN106989701B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 邓君浩;李雨青;林冠文;秦圣基 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B17/00 | 分类号： | G01B17/00;G01B17/02 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供了一种用于确定制造工具和工件之间的空隙的系统和方法。在示例性实施例中，该方法包括在工具中接收衬底从而在其间限定间隙。在衬底的与间隙相反的底面上设置的变换器提供穿过衬底传导的声波信号。变换器还接收来自限定间隙的衬底的顶面的第一回声和来自进一步限定间隙的工具的底面的第二回声。基于第一回声和第二回声测量间隙的宽度。在一些实施例中，工具的底面是喷嘴的底面，且在变换器接收第一回声和第二回声时，喷嘴在间隙中提供液体或气体。本发明的实施例还提供了测量厚度的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 间隙 厚度 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种测量间隙的方法，包括：在工具中接收衬底，从而在所述工具和所述衬底之间限定间隙；通过设置在所述衬底的与所述间隙相反的底面上的变换器来提供声波信号，其中，所述声波信号穿过所述衬底传导；通过所述变换器接收来自限定所述间隙的所述衬底的顶面的第一回声和来自进一步限定所述间隙的所述工具的底面的第二回声；以及基于所述第一回声和所述第二回声测量所述间隙的宽度。
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