[发明专利]靶坯及靶材组件的制造方法有效
| 申请号： | 201610679308.2 | 申请日： | 2016-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN107761062B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;陈勇军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种靶坯及靶材组件的制造方法，所述靶坯的制造方法包括：提供AlSc合金锭；对AlSc合金锭进行塑性变形加工，形成初始靶坯；以阶梯升温的方式，对初始靶坯进行热处理，形成靶坯。本发明以阶梯升温的方式，对初始靶坯进行热处理。由于在升温过程中，难以保证初始靶坯的受热均一性良好，因此通过分多个阶段来进行热处理，在每一次升温后进行保温，使已达到预设温度的部分区域初始靶坯进行保温，使未达到预设温度的部分区域初始靶坯继续进行升温直至达到预设温度，因此完成每一阶段的热处理后，均可以使初始靶坯受热均匀，即可以提高初始靶坯的受热均一性，从而使热处理后靶坯的晶向200含量增加，且所述靶坯的晶向均匀、晶粒细小。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种靶坯的制造方法，其特征在于，包括：提供AlSc合金锭；对所述AlSc合金锭进行塑性变形加工，形成初始靶坯；以阶梯升温的方式，对所述初始靶坯进行热处理，形成靶坯。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610679308.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
