[发明专利]压力辅助式电解加工微坑阵列的系统及方法有效
| 申请号： | 201610640144.2 | 申请日： | 2016-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN106141347B | 公开（公告）日： | 2018-02-06 |
| 发明（设计）人： | 曲宁松;侯志保;陈晓磊 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | B23H9/00 | 分类号： | B23H9/00;B23H3/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及压力辅助式电解加工微坑阵列的系统及方法，属微细电解加工领域。该方法包括具有通孔阵列的柔性模板（2）贴在阳极工件（3）上，装夹阴极工具（7）和阳极工件；加工前打开第三阀门（5）和第二阀门（11），开启泵（13），通入电解液，排除工作腔内的气体，然后关闭出液口处的第三阀门（5），调节的第一阀门（12），使进液口处的电解液压强稳定，最后接通电源（1）进行电解加工。采用本方法进行电解加工，夹具工作腔内的电解液处于高压状态，压强为0.3‑1MPa，阳极工件上方的流场稳定。利用电解液的压力，柔性模板紧密贴合在工件表面，减少杂散腐蚀。该方法可有效提高微坑阵列的加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 辅助 电解 加工 阵列 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种压力辅助式电解加工微坑阵列的系统，其特征在于：包括夹具（4）、阳极工件（3）、柔性模板（2）、阴极工具（7）、电源（1）、电解液槽（6）；上述夹具（4）具有进液口和出液口，进液口位于夹具（4）上方，出液口位于夹具（4）侧壁；上述夹具（4）内部为工作腔，阳极工件（3）、柔性模板（2）、阴极工具（7）均位于工作腔内；上述阳极工件（3）位于工作腔底部，柔性模板（2）贴合于阳极工件（3）上表面，柔性模板（2）具有通孔阵列；上述阴极工具（7）位于柔性模板（2）上方，阴极工具（7）是带有通孔的金属平板，且通孔远离金属平板中心，接近金属平板边缘并沿周向均匀分布；阳极工件（3）和阴极工具（7）分别连接电源（1）正负极；上述阴极工具（7）到柔性模板（2）的距离为10‑50mm；上述电解液槽（6）通过两条并联的支路后再经过第二阀门（11）及压力表（9）后与上述夹具（4）的进液口相连；上述两条并联的支路，其中一条安装有泵（13），另一条安装有第一阀门（12）；上述夹具（4）的出液口经过第三阀门（5）与电解液槽（6）相连。
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