[发明专利]导电性高分子组合物、包覆物、及图案形成方法有效

专利信息
申请号: 201610537136.5 申请日: 2016-07-08
公开(公告)号: CN106336603B 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 长泽贤幸;畠山润 申请(专利权)人: 信越化学工业株式会社
主分类号: C08L33/16 分类号: C08L33/16;C08L25/18;C08L65/00;G03F1/56;H01B1/12
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 李英艳;张永康
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的课题在于提供一种导电性高分子组合物,所述导电性高分子组合物在对电子束抗蚀剂进行刻写时的抗静电性能优异,并且抗蚀剂上的涂布性、以及利用H2O和碱性水溶液而产生的剥离性优异,能够适用于电子束光刻。为了解决上述问题,本发明提供一种导电性高分子组合物,其含有:(A)π‑共轭系导电性高分子,其具有由下述通式(1‑1)、通式(1‑2)及通式(1‑3)所示的重复单元中的至少1种;及,(B)掺杂聚合物,其包含由下述通式(2)所示的重复单元a,重均分子量为1000~500000的范围;
搜索关键词: 导电性 高分子 组合 包覆物 图案 形成 方法
【主权项】:
一种导电性高分子组合物,其特征在于,其含有:(A)π‑共轭系导电性高分子,该π‑共轭系导电性高分子具有由下述通式(1‑1)、通式(1‑2)及通式(1‑3)所示的重复单元中的至少1种;及,(B)掺杂聚合物,该掺杂聚合物包含由下述通式(2)所示的重复单元a,重均分子量为1000~500000的范围;式(1‑1)、(1‑2)、(1‑3)中,X为S、O、Se、Te、或NR5;R1和R2分别独立地表示可具有杂原子的碳数1~20的直链状、支链状或环状的1价烃基、氢原子、羟基、卤素原子中的任一种;此外,R1与R2彼此可以在任意位置键合而形成环;R5表示氢原子、碳数1~10的直链状或支链状饱和或不饱和的烷基、或碳数6~10的经取代或未经取代的芳基;并且,在上述通式(1‑1)中,在X为S、Se、或Te时,或X为NR5且R5表示氢原子时,R1与R2不同时表示氢原子;式(2)中,R3为氢原子或甲基,R4为单键、酯基、或具有醚基及酯基中的任一种或具有它们中的两种的碳数1~12的直链状、支链状、环状烃基中的任一种,Z为亚苯基、亚萘基及酯基中的任一种,a为0<a≤1.0。
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  • 山本育男;南晋一 - 大金工业株式会社
  • 2005-10-27 - 2007-10-31 - C08L33/16
  • 本发明提供一种含氟处理剂组合物,该组合物含有(A)和(B),(A)含氟氨基甲酸酯化合物;(B)具有由式(I)表示的含氟单体所衍生的重复单元的含氟聚合物,式(I)中,X是氟原子、氯原子、溴原子、碘原子、CFX1X2基团、氰基、碳原子数为1~20的直链状或支链状氟代烷基、取代或无取代的苄基、取代或无取代的苯基,其中,CFX1X2基团中的X1和X2为氢原子、氟原子或氯原子;A是2价基团;Rf是碳原子数为1~6的直链状或支链状全氟烷基。CH2=C(-X)-C(=O)-A-Rf (I)
  • 水性乳剂组合物-200480003805.6
  • 阿贺司;坂下浩敏;井置正人;宫原正弘 - 大金工业株式会社
  • 2004-02-05 - 2006-03-15 - C08L33/16
  • 下述形成的水性乳剂组合物对夹杂物的稳定性和机械稳定性优异。其是通过在(A)含有含氟聚合物形成的水性树脂乳剂中添加(B)表面活性剂形成的;所述(B)表面活性剂是以下式表示的表面活性剂;式中,R1是烷基或链烯基,R2是亚烷基,R3是氢原子、烷基或链烯基,p是大于或等于2的数,q是大于或等于1的数,p和q是使得聚氧乙烯段相对于分子整体的重量比为5重量%~80重量%的数。R1O-(CH2CH2O) p-(R2O)q-R3 (1)。
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