[发明专利]MEMS湍流传感器的封装方法

摘要

本发明涉及海洋湍流探测，具体是一种MEMS湍流传感器封装方法。本发明针对MEMS湍流传感器在海中应用可靠性封装的技术瓶颈问题，提出Parylene薄膜淀积、保护罩、保护杆和中空壳体结合的保护方式，解决电绝缘、防腐蚀、耐高静水压、防碰撞、防泥沙堵塞等问题。本发明适用于MEMS湍流传感器的封装。

主权项

1.一种MEMS湍流传感器，其特征在于：包括中空壳体（1），所述中空壳体（1）侧壁设置出水孔（6），所述中空壳体（1）顶端内安装十字梁（4）及纤毛（5）；所述中空壳体（1）顶端面均布设置保护杆（2）；所述中空壳体（1）顶端加盖保护罩（3），所述纤毛（5）穿出保护罩（3）；该传感器引线后保形均匀淀积parylene薄膜，所述parylene薄膜厚度2微米；所述中空壳体（1）材料为316不锈钢，其尺寸为：壳体长度为3cm，外径为1cm，内径为4mm，壳体壁厚3mm，侧壁同一高度设置有四个出水孔，出水孔的中心到壳体上端为1cm，出水孔的直径为2mm；所述中空壳体（1）顶端面均布4个保护杆（2）；所述保护杆（2）材料是316不锈钢，其尺寸为：杆长1cm，直径为2mm；保护杆投影面中心与中空壳体顶端面中心距离3.5mm；所述保护罩（3）材料为尼龙，其下口外径5mm，上口外径1mm，壁厚500微米；所述保护杆（2）和出水孔（6）位置对应，即保护杆（2）轴线与出水孔（6）轴线正交；封装方法如下：步骤一、在中空壳体（1）顶端内安装十字梁（4）及纤毛（5）；步骤二、在中空壳体（1）顶端用UV胶粘连保护罩（3），再用紫外线将UV胶固化；步骤三、将传感器引线后放入parylene薄膜淀积系统中，加入parylene颗粒到薄膜淀积系统的料槽中，开启机器，经过一段时间后，传感器表面就淀积了一层致密parylene薄膜。