[发明专利]一种热驱动MEMS微镜阵列器件及其制造方法

摘要

一种热驱动MEMS微镜阵列器件及其制造方法，包括M×N个热驱动MEMS微镜单元(1)、布线层(2)和基底(3)，其中M、N为大于等于1的整数，驱动臂(1‐2)通过器件层电引线(1‐5)连接到上层PAD(1‐4)，上层PAD(1‐4)和下层PAD(2‐1)键合在一起，下层PAD(2‐1)通过多层电引线(2‐2)连接到边沿PAD(2‐3)上，布线层(2)置于基底(3)上，镜面(1‐1)通过驱动臂(1‐2)连接在镜框(1‐3)上，上层PAD(1‐4)置于镜框(1‐3)的底面，驱动臂(1‐2)位于镜面(1‐1)的侧面。优点通过直接键合多层布线的圆片和微镜阵列圆片的方式，减少了常规TSV或Bonding工序，降低了微镜阵列的引线制作成本。

主权项

一种热驱动MEMS微镜阵列器件，其特征在于包括M×N个热驱动MEMS微镜单元(1)、布线层(2)和基底(3)，其中M、N为大于等于1的整数，热驱动MEMS微镜单元(1)包括镜面(1‐1)、驱动臂(1‐2)、镜框(1‐3)、上层PAD(1‐4)和器件层电引线(1‐5)，布线层(2)包括下层PAD(2‐1)、多层电引线(2‐2)和边沿PAD(2‐3)，驱动臂(1‐2)通过器件层电引线(1‐5)连接到上层PAD(1‐4)，上层PAD(1‐4)和下层PAD(2‐1)键合在一起，下层PAD(2‐1)通过多层电引线(2‐2)连接到边沿PAD(2‐3)上，布线层(2)置于基底(3)上，镜面(1‐1)通过驱动臂(1‐2)连接在镜框(1‐3)上，上层PAD(1‐4)置于镜框(1‐3)的底面，所述多层电引线(2‐2)包括至少一层金属层和至少一层绝缘层，驱动臂(1‐2)位于镜面(1‐1)的侧面。