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[发明专利]一种基于色散超透镜的计算式光谱仪及工作方法-CN202310852196.6在审
发明人：丁心宇;谢会开;单崇书 -专利权人：北京理工大学;北京理工大学重庆微电子研究院
申请日： 2023-07-12 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明公开的一种基于时间分光的计算式光谱仪及工作方法，属于光谱分析技术领域。本发明包括超透镜、光电探测器、信号处理系统、光收集元件。超透镜能够对入射光聚焦。超透镜光轴上最近焦点与最远焦点之间任意一点的光强由光谱仪工作波段内所有波长信号按预定权重产生。超透镜光轴上最近焦点与最远焦点之间的任意一点上，在该处聚焦的波长信号产生最大权重。光收集元件放置于超透镜中心光轴上，具有固定光通量。光收集元件的入射端口与超透镜之间的距离可调，入射端口位置处于超透镜工作波段内最近焦点与最远焦点之间。通过光电探测器上的单一像元在不同时间依次采集响应信号，计算出原始光谱，解决空间分光方式固有的光谱精度与空间分辨率矛盾。
一种基于色散透镜算式光谱仪工作方法

[发明专利]一种离轴激光雷达及其回波接收方法-CN202110040233.4有效
发明人： 谢会开;王鹏;杨文 -专利权人：北京理工大学;无锡微文半导体科技有限公司
申请日： 2021-01-13 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01S7/487 文献下载
摘要：本申请公开了一种离轴激光雷达及其回波的接收方法，该离轴激光雷达包括激光发射单元和激光接收单元，其中，激光接收单元包括：滤光片，用于对离轴激光雷达的的回波进行过滤，且滤光片为透光波长包含激光发射单元所发射激光波长的窄带滤光片；滤光片驱动器，用于转动滤光片以使离轴激光雷达的回波以预定角度范围内的一个角度入射到滤光片上；光电探测器，用于对滤光片过滤后的回波进行接收，且将接收到的回波进行光电转换。本申请解决了现有离轴激光雷达在具备较强回波接收能力的同时信噪比较低的技术问题。
一种激光雷达及其回波接收方法

[发明专利]一种可高精度组装的MEMS光学扫描探头-CN202310728230.9在审
发明人：蒲嘉;綦廷祥;陈倩;谢会开;王久江;王效峰 -专利权人：北京理工大学重庆微电子研究院
申请日： 2023-06-19 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种可高精度组装的MEMS光学扫描探头，涉及使用MEMS芯片实现直扫的内窥式探头领域，包括：安装基座，所述安装基座上设置有准直组件安装内腔、MEMS组件安装内腔、扫描镜组安装内腔、反射镜安装孔；所述准直组件安装内腔内安装有光纤准直器；所述MEMS组件安装内腔内安装有MEMS芯片基座，所述MEMS芯片基座上安装有FPCB和MEMS芯片；所述扫描镜组安装内腔上安装有扫描镜组；所述反射镜安装孔上安装有反射镜；本发明，可实现精密调节，有效提高探头整体成像质量；同时，MEMS芯片、扫描镜组可替换，能实现分辨率、视场大小在不同应用条件下的多种组合。
一种高精度组装 mems 光学扫描探头

[发明专利]来自不同光源的颜色混合-CN201980020005.1有效
发明人：陈家铭;玛丽安·赫曼-阿卡;莫雨;赫曼斯·基兰古蒂;谢会开;杰西卡·汉;阿尔贝特·迪克·陈 -专利权人：陈家铭;玛丽安·赫曼-阿卡;莫雨;赫曼斯·基兰古蒂;谢会开;杰西卡·汉;阿尔贝特·迪克·陈
申请日： 2019-01-18 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： F21K99/00 文献下载
摘要：一种混色灯系统。所述系统包含棱锥镜组件，所述组件包含以棱锥形结构构造和排列的三个或更多反射镜以及三个或更多个彩色光源。所述棱锥镜组件将彩色光源发出的光束分割，使得第一部分被所述反射镜反射，第二部分延伸到所述反射镜外，从而共同在表面上形成包含多个重叠的彩色区域的多色图案。
来自不同光源颜色混合

[发明专利]一种色散补偿方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310374551.3有效
发明人：叶剑锋;赵晖;孔冠岳;何方明;李业榕;谢会开;林立 -专利权人：佛山光微科技有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G06T5/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种色散补偿方法、装置、电子设备及存储介质，涉及图像数据处理技术领域，其技术方案要点是：包括：获取所述FD‑OCT系统的色散特征；根据所述FD‑OCT系统的色散特征计算选择色散补偿重采样索引函数；根据所述色散补偿重采样索引函数计算重采样索引；根据所述重采样索引对所述FD‑OCT系统采集的干涉波形数据进行重采样从而实现色散补偿。本申请提供的一种色散补偿方法、装置、电子设备及存储介质具有计算效率高的优点。
一种色散补偿方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器-CN202310104450.4在审
发明人：王晓毅;丁厚伯;刘钟一;谢会开 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器，具体涉及一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器及其制作方法；属于传感器领域。本发明的目的是为了克服现有技术的不足，填补领域的空白，实现单芯片同时检测气体流量与气体/湿度的功能，提供一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器及其制作方法；该传感器充分利用了流量传感部分加热电阻的热量，极大地提高了能量的利用率，并且具有低功耗、高响应速度、低滞回的优势；采用无需掩模版操作的Post‑CMOS工艺，避免了复杂的光刻步骤，有效降低了整个器件的后处理复杂程度，大大提高了整个Post‑CMOS后处理的效率。
一种 cmos mems 集成流量气体湿度传感器

[实用新型]一种纯水浸没式水冷光电机箱-CN202321344313.X有效
发明人：孔冠岳;何方明;赵晖;谢会开 -专利权人：佛山光微科技有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本申请提供了一种纯水浸没式水冷光电机箱，涉及光电设备技术领域，其技术方案要点是：包括超纯水机、蒸发容器和机箱本体；所述蒸发容器为上端设有开口、内部设有容腔的壳体结构；所述蒸发容器的内部密封设置有所述机箱本体，所述蒸发容器的外部设置有所述超纯水机；所述超纯水机具有进水口和出水口，所述超纯水机的进水口同时接入所述蒸发容器的内部、所述机箱本体的内部，所述超纯水机的出水口接入所述机箱本体的内部；所述蒸发容器的内部围绕所述机箱本体填充有自来水。本申请提供的纯水浸没式水冷光电机箱，具有造价低廉、有效增强散热性能和防护性能的优点。
一种纯水浸没水冷光电机箱

[实用新型]一种双路样品臂傅立叶域光学相干层析成像装置-CN202321365567.X有效
发明人：叶剑锋;赵晖;孔冠岳;谢会开;蒋华北 -专利权人：佛山光微科技有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： A61B5/026 文献下载
摘要：本申请提供了一种双路样品臂傅立叶域光学相干层析成像装置，涉及医学成像技术领域，其技术方案要点是：包括基础光学组件，所述基础光学组件通过光纤连接有可调耦合器，所述可调耦合器的一个输出端通过光纤接入样品臂，所述可调耦合器的另一个输出端通过光纤连接有光学准直元件；所述基础光学组件设置有参考样品臂，所述光学准直元件与所述参考样品臂对准设置。本申请提供的双路样品臂傅立叶域光学相干层析成像装置，具有在采样样品的散射微粒散射光很弱时降低随机信号幅值比例、稳定背景噪声相位，进而提高血流成像质量的优点。
一种样品傅立叶光学相干层析成像装置

[发明专利]一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备-CN202111167882.7有效
发明人： 谢会开;王鹏 -专利权人：北京理工大学;无锡微文半导体科技有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01H9/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备；其中，透射式开关包括有框架、遮光元件、驱动装置以及静电吸合装置；框架形成有通道；遮光元件悬置于通道上，遮光元件被构造为用于开启或关闭通道；驱动装置的一端与框架连接，驱动装置的另一端与遮光元件连接，驱动装置能够发生形变和展平；静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，第一静电电极位于遮光元件上，第二静电电极位于通道的侧壁上；在驱动装置发生形变下，遮光元件朝向通道内移动，并能够通过第一静电电极静电吸合在第二静电电极上，以开启通道。本公开的方案为光开关提供了一种新的驱动方式，能明显降低驱动电压和功耗，同时可获得较高的通光率。
一种透射开关阵列电子设备

[发明专利]集成磁芯的自卷曲电感-CN202211698049.X在审
发明人：杨恒张;谢会开;曹英超;丁英涛;严阳阳;单崇书 -专利权人：北京理工大学;北京理工大学重庆微电子研究院
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01F17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种集成磁芯的自卷曲电感，用于提高磁芯填充的良率以及器件制造良率，属于MEMS加工制造领域。本发明的目的是为了优化3D自卷曲功率电感制造工艺，提高磁芯填充良率及器件制造速率，且实现器件全流程制造工艺与MEMS工艺相互兼容，提供一种集成磁芯的自卷曲电感。自卷曲电感包含衬底、磁芯、结构层下层薄膜、结构层上层薄膜、金属走线。其中，结构层下层薄膜，结构层上层薄膜和金属走线自下而上顺序堆叠于衬底上。磁芯沉积在结构层上层薄膜端部。该方案具有磁芯大小形貌可控、与MEMS工艺和IC工艺兼容、低成本、可量产等优势。
集成卷曲电感

[发明专利]一种CMOS-MEMS单片集成流量、压力传感器-CN202310106202.3在审
发明人：王晓毅;杨盖;刘钟一;谢会开 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种CMOS‑MEMS单片集成流量、压力传感器，属于传感器领域。本发明的传感器包括硅衬底层及二氧化硅结构层，所述二氧化硅结构层包括设置于两端的PAD区域和设置于中央的气体流量传感器区域及气体压力传感器区域；所述PAD区域中二氧化硅材料与金属材料交叠排布，金属via贯穿第一层金属至第五层金属；所述气体流量传感器区域包括加热电阻及分布在加热电阻两侧的第一热敏电阻和第二热敏电阻；本发明采用无需掩模版(MASK)操作的Post‑CMOS工艺，有效降低了整个器件的后处理复杂程度，大大提高了整个Post‑CMOS后处理的效率。传感部分需要悬空处理，使其具有低热量耗散，快响应速度的特性。
一种 cmos mems 单片集成流量压力传感器

[发明专利]电磁式大声阻活塞运动式MEMS扬声器及其制造方法-CN202310354785.1在审
发明人： 谢会开;郑钦丞;曹可;逯遥;汤跃 -专利权人：北京理工大学;北京理工大学重庆微电子研究院
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H04R31/00 文献下载
摘要：本发明公开的一种电磁式大声阻活塞运动式MEMS扬声器及其制造方法。所述电磁式大声阻活塞运动式MEMS扬声器，包括基底、腔体、电磁式驱动组件、连接组件、振膜；所述基底包括基座和沿所述基座厚度方向延伸的支撑结构，所述支撑结构的四周围合从而形成所述腔体；所述连接组件用于连接所述振膜和所述支撑结构；所述振膜为悬空结构且悬设于所述腔体中；所述振膜与所述连接组件不共面；所述振膜的垂直方向的位移范围一般不超过所述空腔高度范围；所述电磁式驱动组件包括可动部件和固定部件；所述可动部件构成所述振膜的一部分，包含线圈和磁性材料中的一种；所述固定部件位于所述基底中；所述电磁式驱动组件通过电磁力带动所述振膜沿垂直方向做活塞式运动。
电磁式声阻活塞运动 mems 扬声器及其制造方法

[发明专利]一种太赫兹MEMS频率可重构滤波器及其实现方法-CN202310244621.3在审
发明人：于伟华;彭洪;吕昕;谢会开;刘浩;王新悦 -专利权人：北京理工大学重庆微电子研究院;北京理工大学
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01P1/208 文献下载
摘要：本发明提供了一种太赫兹MEMS频率可重构滤波器及其实现方法，包括波导组件和MEMS位移执行器，波导组件构成一个N阶太赫兹滤波器，MEMS位移执行器至少形成N个位移量可调的MEMS可调谐平面，MEMS可调谐平面通过调节位移量来同步等值改变所述N阶太赫兹滤波器的N个矩形谐振腔的宽度，以实现太赫兹滤波器的中心频率可重构。本发明具有大范围连续调节太赫兹波工作频率的功能，解决了当前太赫兹射频前端系统中工作频率调节困难且频率调节不连续的问题；利用这种MEMS微型可动结构调节太赫兹滤波器的工作频率，解决了当前太赫兹可重构滤波器性能差且体积大的问题；通过同步对称改变太赫兹波导滤波器谐振宽度的方法，实现太赫兹滤波器的工作频率连续可调而工作带宽保持不变。
一种赫兹 mems 频率可重构滤波器及其实现方法

[发明专利]基于MEMS可动微平台及其阵列的成像光谱仪-CN202310390875.6在审
发明人：丁心宇;谢会开;陈超;曹英超 -专利权人：北京理工大学;北京理工大学重庆微电子研究院
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明公开的一种基于MEMS可动微平台及其阵列的成像光谱仪，属于光谱成像技术领域。本发明包括超表面、MEMS可动微平台阵列、光阑、图像传感器。超表面由特征尺寸小于光谱仪工作波段的微结构构成。本发明采用超表面作为色散元件，显著压缩分光元器件的体积；通过将超表面集成于MEMS可动微平台阵列上，并实现使用半导体工艺进行MEMS可动微平台阵列加工，能够降低成像光谱仪的生产成本，提高成像光谱仪的集成度；利用MEMS可动微平台阵列将物方空间划分为多个区域进行成像，能够获得最大与阵列单元数量相同的空间分辨率，而不需要添加额外的扫描元件来获取空间分辨能力；通过灵活选择每个MEMS可动微平台单元的工作状态，获得任意大小的空间分辨率。
基于 mems 可动微平台及其阵列成像光谱仪

[发明专利]一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备-CN202111167883.1有效
发明人： 谢会开;肖磊;王鹏;丁英涛 -专利权人：北京理工大学;无锡微文半导体科技有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G02B26/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备；其中，所述透射式光开关包括基底，驱动装置以及静电吸合装置；所述基底形成有透光区域；所述驱动装置的一端与所述基底连接，所述驱动装置悬置于所述基底上，所述驱动装置被构造为能够发生弯曲形变和展平；所述静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，所述第一静电电极位于所述基底上，且为透光材料，所述第二静电电极位于所述驱动装置上；在所述驱动装置展平的状态下，所述驱动装置能够通过所述第二静电电极静电吸合在所述第一静电电极上，以关闭所述透光区域。本公开的方案为光开关提供了一种新的驱动方式，能够明显降低驱动电压和功耗，同时降低了维持光开关关闭的能耗。
一种透射开关阵列电子设备

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