[发明专利]一种用于温控的装置的制作方法

摘要

本发明属于单光子探测和量子保密通信领域，特别涉及一种用于温控的装置及其制作方法，装置包括与陶瓷基片一体式烧结成型的管夹或基座，陶瓷基片与管夹或基座形成的一体式结构由氧化铝陶瓷制成。本发明将陶瓷基片与管夹或基座设置成一体式结构，连接可靠，耐高低温循环、耐氧化、耐老化、使用寿命长；且能够适应大规模量产，提高了装置性能的一致性、可靠性。

主权项

1.一种用于温控的装置的制作方法，所述用于温控的装置，包括半导体制热制冷器，所述半导体制热制冷器的冷面设有晶粒阵列，所述晶粒阵列由高导热金属材料制成，所述晶粒阵列上方设有陶瓷基片以及用于容置雪崩二极管的管夹或者用于容置波导元件的基座，其特征在于，所述管夹或基座由陶瓷材料制成，所述管夹或基座与陶瓷基片一体式烧制成型，所述陶瓷基片底部做金属化处理，金属化处理后的陶瓷基片底部与所述晶粒阵列焊接固定，制作方法包括如下步骤：步骤1：将氧化铝粉制备成1微米以下粉体；步骤2：将有机粘结剂与氧化铝粉体混合均匀，有机粘结剂比重为5％-20％；步骤3：将氧化铝浆料注入模具；步骤4：将模具放入烧结炉内进行初步静压烧结，初步静压烧结温度控制在800℃；步骤5：初步烧结后脱模，采用平面加压保证外形，然后进行高温静压烧结，所述高温静压烧结温度控制在1200℃-2000℃；步骤6：烧结完成后，将注塑孔研磨平整，陶瓷基片与管夹或基座一体式结构制作完成；步骤7：对陶瓷基片底部进行金属化处理，使陶瓷基片底部牢固地粘附一层金属薄膜；步骤8：利用所述金属薄膜将陶瓷基片与晶粒阵列焊接固定。