[发明专利]一种衬底腐蚀夹具

摘要

本发明公开了一种衬底腐蚀夹具，该夹具包括上夹具、下夹具以及连接部件，在上夹具的中心设置有同轴的上夹具凹陷区域和上夹具顶部开口，上夹具顶部开口的平面尺寸小于衬底的平面尺寸，上夹具凹陷区域用于放置衬底，在上夹具的边缘设置有多个开孔；在下夹具的中心设置有同轴的下夹具凹陷区域和下夹具底部开口，下夹具凹陷区域用于放置衬底，下夹具底部开口带有向内的倾斜角度，在下夹具的边缘设置有螺孔和圆柱杆，圆柱杆与上夹具的开孔相配合，将上夹具和下夹具进行位置对准，连接部件用于穿过开孔与螺孔将上夹具和下夹具连接在一起，借助于本发明的技术方案，可以解决衬底正面朝上腐蚀存在的缺陷。

主权项

1.一种衬底腐蚀夹具，其特征在于，包括上夹具、下夹具以及连接部件，在所述上夹具的中心设置有同轴的上夹具凹陷区域和上夹具顶部开口，所述上夹具顶部开口的平面尺寸小于衬底的平面尺寸，防止衬底掉落，所述上夹具凹陷区域用于放置衬底，上夹具凹陷区域的平面尺寸大于衬底的平面尺寸，在所述上夹具的边缘设置有多个开孔；在所述下夹具的中心设置有同轴的下夹具凹陷区域和下夹具底部开口，所述下夹具凹陷区域用于放置衬底，下夹具凹陷区域的平面尺寸与上夹具凹陷区域的平面尺寸相配合，且上夹具凹陷区域与下夹具凹陷区域的高度之和大于等于衬底的厚度；所述下夹具底部开口带有向内的倾斜角度，下夹具底部开口上端的平面尺寸小于或等于下夹具凹陷区域的平面尺寸，下夹具底部开口下端的平面尺寸小于衬底的平面尺寸，在所述下夹具的边缘设置有螺孔和圆柱杆，所述圆柱杆与上夹具的开孔相配合，用于将上夹具和下夹具进行位置对准，所述螺孔与连接部件相配合；所述连接部件用于穿过上夹具的开孔与下夹具的螺孔，从而将上夹具和下夹具连接在一起；所述连接部件包括上端的圆柱体杆和下端螺纹杆，所述螺纹杆用于穿过上夹具的开孔与下夹具的螺孔，从而将上夹具和下夹具连接在一起；所述圆柱体杆，作为所述衬底腐蚀夹具的把手。