[发明专利]P型动态阈值晶体管、制备方法及提高工作电压的方法有效
申请号: | 201610236465.6 | 申请日: | 2016-04-15 |
公开(公告)号: | CN105845734B | 公开(公告)日: | 2019-09-13 |
发明(设计)人: | 陈静;吕凯;罗杰馨;柴展;何伟伟;黄建强;王曦 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 姚艳 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种P型动态阈值晶体管、制备方法及提高工作电压的方法,该P型动态阈值晶体管至少包括:衬底结构,位于所述衬底结构上的n个阈值可调结构;所述阈值可调结构至少包含两个PMOS管和两个二极管,两个PMOS管共用体区,所述体区为P型重掺杂区;两个二极管共用P区,并以两个PMOS管共用的体区作为P区;所述第一二极管的P区与所述第一PMOS管的栅连接,所述第二二极管的P区与所述第二PMOS管的栅连接。本发明通过在两个PMOS管的栅体连接通路上各形成一个反偏PN结,来提升体区电压、降低阈值电压、提高驱动电流,实现工作电压的提高,扩展了P型动态阈值晶体管在低功耗电路设计领域的应用价值。 | ||
搜索关键词: | 动态 阈值 晶体管 制备 方法 提高 工作 电压 | ||
【主权项】:
1.一种P型动态阈值晶体管,其特征在于,所述P型动态阈值晶体管至少包括:衬底结构,位于所述衬底结构上的n个阈值可调结构,其中,n为大于等于1的自然数;所述阈值可调结构至少包含两个PMOS管和两个二极管,其中,第一PMOS管和第二PMOS管的沟道区均为N型轻掺杂区,且两个PMOS管共用体区,所述体区为P型重掺杂区;第一二极管以所述第一PMOS管的沟道区作为N区,第二二极管以所述第二PMOS管的沟道区作为N区,且两个二极管共用P区,并以两个PMOS管共用的体区作为P区;所述第一二极管的N区与所述第一PMOS管的体区连接,所述第一二极管的P区与所述第一PMOS管的栅连接,所述第二二极管的N区与所述第二PMOS管的体区连接,所述第二二极管的P区与所述第二PMOS管的栅连接;所述第一PMOS管和所述第二PMOS管的栅均包括P型重掺杂区及隔离区,所述隔离区靠近所述体区,其中所述隔离区为未掺杂的多晶硅层。
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