[发明专利]掩膜版机械手预对准机构及掩膜版上版的方法和应用有效
| 申请号： | 201610200480.5 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107285006B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 纪国友;吴福龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜版上版的方法：a)X向初定位：第一X向驱动器驱动X向运动组件沿X向相向运动，使所述X向运动组件托住位于上方的掩膜版；b)X向二次定位：待X向初定位后，第二X向驱动器驱动所述X向运动组件继续沿X向相向运动，使所述X向运动组件在X向夹紧掩膜版。所述掩膜版上版的方法还包括Y向定位：在所述X向二次定位之前、同时或者之后，Y向驱动器驱动Y向运动组件沿Y向运动，所述Y向运动组件作用所述掩膜版，进行Y向定位；本发明同时公开了一种采用该方法的掩膜版机械手预对准装置，本发明提出的掩膜版上版的方法，能够灵活控制大尺寸掩膜版上版过程中夹紧定位的速度及力，提高掩膜版传输过程中的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 机械手 对准 机构 掩膜版上版 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种掩膜版上版的方法，其特征在于，对准方法步骤如下：步骤1、X向初定位：第一X向驱动器驱动X向运动组件沿X向相向运动，使所述X向运动组件托住位于上方的掩膜版；步骤2、X向二次定位：待X向初定位后，第二X向驱动器驱动所述X向运动组件继续沿X向相向运动，使所述X向运动组件在X向夹紧掩膜版。
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