[发明专利]应用于TEM进行原位电化学反应测量的芯片有效
| 申请号： | 201610130211.6 | 申请日： | 2016-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN107170794B | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 张跃钢;侯远 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06 |
| 代理公司： | 32256 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于TEM进行原位电化学反应测量的芯片，其包括基底以及设置于基底上端面的第一、第二电极，所述第一电极具有开口部，所述第二电极一端部具有一个以上贯穿所述第二电极的观测窗口，至少是所述第二电极的一端部设于所述开口部内，且所述第二、第一电极之间无直接接触。本发明的芯片的结构简单，易于制作，且其两个电极之间的距离可以精确控制，成品率高，性能稳定，同时其观测电极上具有多个窗口，窗口边缘均为观测点，观测点比较多，更容易寻找样品，而利用本发明的芯片工作时，只要将正、负极分别放置在第二电极的窗口处和第一电极上，在该两电极间滴加电解液后即可组成正常工作的电池或电容器，原位观测其化学反应，操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 tem 进行 原位 电化学 反应 测量 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种应用于TEM进行原位电化学反应测量的芯片，其特征在于包括基底以及设置于基底上端面的第一电极和第二电极，所述第一电极具有开口部，所述第二电极整体分布于所述开口部内，且所述第二电极与第一电极之间无直接接触，所述第二电极一端部具有一个以上垂直贯穿所述第二电极的观测窗口，所述观测窗口具有梯形截面，其内壁与水平面的夹角为20～70°。/n
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