[发明专利]MEMS驱动器有效
| 申请号： | 201580070431.8 | 申请日： | 2015-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN107108202B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 罗曼·古铁雷斯;王宏宇 | 申请（专利权）人： | 麦斯卓有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;H02N2/06;H02N2/02 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 王冬;赵锐 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 系统和方法提供了致动器控制。致动器控制经由与电压控制相反的电荷控制提供。用于驱动致动器的驱动器可以包括用于将电荷注入到致动器的一个或多个电容元件中的电荷泵。驱动器可以进一步包括用于检测致动器的电容元件的电容的电容检测方面以确定致动器的位置。 | ||
| 搜索关键词： | mems 驱动器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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