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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]抗震的MEMS致动器结构-CN202310124124.X在审
发明人：格拉尔多·莫拉比托;刘晓磊;王桂芹;罗曼·古铁雷斯;马修·恩格 -专利权人：麦斯卓微电子（南京）有限公司
申请日： 2016-11-04 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：公开了抗震MEMS结构。在一个实施方式中，用于MEMS装置的运动控制挠曲件包括：包括第一端部和第二端部的杆，其中杆沿其长度逐渐变细，使得杆在其中心处最宽并且在其端部处最薄；直接连接到杆的第一端部的第一铰链；以及直接连接到杆的第二端部的第二铰链。在另一实施方式中，用于MEMS装置的导电悬臂包括：弯曲的中心部分，其包括第一端部和第二端部，其中中心部分具有拐点；连接到中心部分的第一端部的第一根部；以及连接到中心部分的第二端部的第二根部。在又一个实施方式中，描述了用于MEMS装置的震动止动件。
抗震 mems 致动器结构

[发明专利]抗震的MEMS致动器结构-CN202310124074.5在审
发明人：格拉尔多·莫拉比托;刘晓磊;王桂芹;罗曼·古铁雷斯;马修·恩格 -专利权人：麦斯卓微电子（南京）有限公司
申请日： 2016-11-04 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：公开了抗震MEMS结构。在一个实施方式中，用于MEMS装置的运动控制挠曲件包括：包括第一端部和第二端部的杆，其中杆沿其长度逐渐变细，使得杆在其中心处最宽并且在其端部处最薄；直接连接到杆的第一端部的第一铰链；以及直接连接到杆的第二端部的第二铰链。在另一实施方式中，用于MEMS装置的导电悬臂包括：弯曲的中心部分，其包括第一端部和第二端部，其中中心部分具有拐点；连接到中心部分的第一端部的第一根部；以及连接到中心部分的第二端部的第二根部。在又一个实施方式中，描述了用于MEMS装置的震动止动件。
抗震 mems 致动器结构

[发明专利]MEMS装置制造方法及通过工序制备的MEMS装置-CN201680069999.2有效
发明人： 罗曼·古铁雷斯;托尼·唐;刘晓磊;马修·恩格;王桂芹 -专利权人：麦斯卓微电子（南京）有限公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：提供了一种简化的MEMS制造工序和MEMS装置，允许制造更便宜和更轻的MEMS装置。该工序包括将多个孔或其它特征图案蚀刻到MEMS装置中，然后蚀刻掉下面的晶片，使得在蚀刻工序之后，MEMS装置是所需的厚度并且单独的模具被分离，从而避免晶片减薄和模具切割的额外步骤。通过将沟槽蚀刻到衬底晶片中，并用MEMS基材将其填充，具有较大力的精密较高的MEMS装置可以被制造。
mems 装置制造方法通过工序制备

[发明专利]一种用于确定致动器的位置的方法-CN202010427142.1有效
发明人： 罗曼·古铁雷斯;王宏宇 -专利权人：麦斯卓微电子（南京）有限公司
申请日： 2015-10-15 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H02N1/00 文献下载
摘要：系统和方法提供了致动器控制。致动器控制经由与电压控制相反的电荷控制提供。用于驱动致动器的驱动器可以包括用于将电荷注入到致动器的一个或多个电容元件中的电荷泵。驱动器可以进一步包括用于检测致动器的电容元件的电容的电容检测方面以确定致动器的位置。
一种用于确定致动器位置方法

[发明专利]抗震的MEMS致动器结构-CN201680075651.4有效
发明人：格拉尔多·莫拉比托;刘晓磊;王桂芹;罗曼·古铁雷斯;马修·恩格 -专利权人：麦斯卓微电子（南京）有限公司
申请日： 2016-11-04 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：公开了抗震MEMS结构。在一个实施方式中，用于MEMS装置的运动控制挠曲件包括：包括第一端部和第二端部的杆，其中杆沿其长度逐渐变细，使得杆在其中心处最宽并且在其端部处最薄；直接连接到杆的第一端部的第一铰链；以及直接连接到杆的第二端部的第二铰链。在另一实施方式中，用于MEMS装置的导电悬臂包括：弯曲的中心部分，其包括第一端部和第二端部，其中中心部分具有拐点；连接到中心部分的第一端部的第一根部；以及连接到中心部分的第二端部的第二根部。在又一个实施方式中，描述了用于MEMS装置的震动止动件。
抗震 mems 致动器结构

[发明专利]一种在MEMS装置中形成多个布线层的方法-CN201680070114.0有效
发明人： 罗曼·古铁雷斯;托尼·唐;刘晓磊;王桂芹;马修·恩格 -专利权人：麦斯卓有限公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：一种用于控制MEMS装置的结构特性的系统和方法，包括：将多个孔蚀刻到所述MEMS装置的表面中；其中多个孔包括被确定为MEMS装置提供所需的特定的结构特性的一个或多个几何形状。
一种 mems 装置形成布线方法

[发明专利]MEMS驱动器-CN201580070431.8有效
发明人： 罗曼·古铁雷斯;王宏宇 -专利权人：麦斯卓有限公司
申请日： 2015-10-15 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：系统和方法提供了致动器控制。致动器控制经由与电压控制相反的电荷控制提供。用于驱动致动器的驱动器可以包括用于将电荷注入到致动器的一个或多个电容元件中的电荷泵。驱动器可以进一步包括用于检测致动器的电容元件的电容的电容检测方面以确定致动器的位置。
mems 驱动器

[发明专利]利用单个像机的三维成像-CN201580070371.X有效
发明人： 罗曼·古铁雷斯 -专利权人：麦斯卓有限公司
申请日： 2015-12-23 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： H04N13/207 文献下载
摘要：系统和方法提供准确的像素深度信息，以应用于单个相机在生成三维(3D)图像时拍摄的单个图像。具体而言，可在例如相机的横向运动期间捕获两个或更多个图像，以确定像素级上的场景中的深度。使用能够提供至少三个稳定轴的光学图像稳定(OIS)系统消除了与产生图像配准问题的传统系统相关的可变性。进一步地，由于正在计算实际的像素深度信息，而不仅仅是生成立体图像以诱使眼睛感知深度，所以被计算的像素深度信息可以以其他方式来利用，诸如仅通过拍摄对象或场景的图片提供自动测量。
利用单个三维成像

[发明专利]挠曲件、包括挠曲件阵列的平台及挠曲件的制作方法-CN201580022662.1有效
发明人：刘小雷;罗曼·古铁雷斯;王桂芹;班森·麦;马修·恩格 -专利权人：麦斯卓有限公司
申请日： 2015-04-02 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： F16F1/18 文献下载
摘要：一种挠曲件，包括：连接到第一框架的第一支撑端；连接到第二框架的第二支撑端；和将第一支撑端与第二支撑端连接的弯折部分。挠曲件的长度显著大于其宽度，并且，挠曲件的宽度显著大于其厚度。在操作过程中，将挠曲件保持在弯折状态中，在该状态下，挠曲件的刚度明显小于未弯折状态中的刚度。在一个实现方式中，运动台包括连接第一框架和第二框架的挠曲件阵列，其中：第一框架和第二框架基本上在一个平面上；挠曲件阵列在由挠曲件阵列的挠曲件弯折之前基本上位于该平面上；并且，挠曲件阵列在由挠曲件弯折之后基本上弯曲离开该平面。
刚度挠曲

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