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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]微机电系统致动器结构的冲击锁定特征-CN201680086421.8有效
发明人：刘晓蕾;M·伍;R·卡尔维特;G·莫拉比托 -专利权人： 麦斯卓有限公司
申请日： 2016-12-21 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种锁定结构，其用于锁定或以其他方式减小通过MEMS器件梁结构在可能对MEMS装置造成机械冲击的事件期间所经历的机械冲击脉冲。锁定结构至少部分地围绕梁，以使得它们限制梁在垂直于梁的纵向轴线的方向上的运动，从而减小机械冲击事件期间梁上的应力。锁定结构可以与机械抗震梁结合使用。
微机系统致动器结构冲击锁定特征

[发明专利]一种微机电结构-CN202110506049.4在审
发明人：吴清亮;王桂芹;刘小雷;马茂德.萨米 -专利权人： 麦斯卓有限公司
申请日： 2021-05-10 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种微机电结构，微机电结构包括固定部、移动部、电致件以及制动件，移动部与固定部之间形成有间隔空间，间隔空间作为移动部的移动空间；制动件对应间隔空间设置；电致件连接制动件，为制动件通电或断电；在电致件通电时，制动件变形，至少部分伸入间隔空间；在电致件断电时，制动件形状恢复，离开间隔空间。本申请微机电结构能够避免固定部和移动部之间相对碰撞。
一种微机结构

[发明专利]一种在MEMS装置中形成多个布线层的方法-CN201680070114.0有效
发明人：罗曼·古铁雷斯;托尼·唐;刘晓磊;王桂芹;马修·恩格 -专利权人： 麦斯卓有限公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：一种用于控制MEMS装置的结构特性的系统和方法，包括：将多个孔蚀刻到所述MEMS装置的表面中；其中多个孔包括被确定为MEMS装置提供所需的特定的结构特性的一个或多个几何形状。
一种 mems 装置形成布线方法

[发明专利]MEMS致动系统-CN201980007529.7有效
发明人：王桂芹;刘晓蕾;马修·恩格 -专利权人： 麦斯卓有限公司
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G02B7/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种多轴MEMS组件。该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器。该平面外MEMS致动器包括多形态压电致动器。
mems 系统

[发明专利]MEMS致动系统-CN202080065206.6在审
发明人：马修·恩格;刘晓蕾;王桂芹 -专利权人： 麦斯卓有限公司
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H02N1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种被配置为提供多轴移动的多轴MEMS组件，该多轴MEMS组件包括：第一平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少X轴移动；以及第二平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少Y轴移动；其中，第一平面内MEMS致动器被耦合至第二平面内MEMS致动器。
mems 系统

[发明专利]MEMS致动系统和方法-CN201780068608.X有效
发明人：刘晓蕾;M·伍;王桂芹;G·莫拉比托 -专利权人： 麦斯卓有限公司
申请日： 2017-09-08 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： H01H51/22 文献下载
摘要：微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分，配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂，以及配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆。
mems 系统方法

[发明专利]MEMS致动系统-CN202011026391.6在审
发明人：王桂芹;刘晓蕾 -专利权人： 麦斯卓有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G02B7/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种多轴MEMS组件。该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及连接到该微机电系统(MEMS)致动器的光电器件。该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和包括多形态压电致动器的平面外MEMS致动器；以及连接到该平面外MEMS致动器的镜筒组件。
mems 系统

[发明专利]MEMS致动系统-CN202011023508.5在审
发明人：王桂芹;马修·恩格;刘晓蕾 -专利权人： 麦斯卓有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多轴MEMS组件。该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及连接到微机电系统(MEMS)致动器的光电器件。其中该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器；该平面内MEMS致动器包括电磁致动器部分。
mems 系统

[发明专利]MEMS锁定系统-CN202010911486.X在审
发明人：刘晓蕾;马修·恩格;王桂芹 -专利权人： 麦斯卓有限公司
申请日： 2020-09-02 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种配置为提供多轴移动的微机电系统(MEMS)致动器，该微机电系统(MEMS)致动器包括：第一部分、第二部分以及锁定组件，其中该第一部分和该第二部分相对于彼此可位移，该锁定组件被配置为可释放地连接该第一部分和该第二部分，以削弱该第一部分和该第二部分之间的位移。
mems 锁定系统

[发明专利]MEMS致动系统和方法-CN201780068620.0有效
发明人： M·伍;刘晓蕾;王桂芹 -专利权人： 麦斯卓有限公司
申请日： 2017-09-08 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： G02B27/64 文献下载
摘要：微机电系统(MEMS)器件包括一个或多个可滑动连接组件，用于可释放地将微机电系统(MEMS)器件连接到制造微机电系统(MEMS)器件的晶片。
mems 系统方法

[发明专利]压电致动器制造方法-CN201980088283.0在审
发明人：王桂芹;刘晓蕾;马赫穆德·萨米;王宇峰 -专利权人： 麦斯卓有限公司
申请日： 2019-11-10 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： H01L41/332 文献下载
摘要：一种生成压电致动器的方法包括：在刚性衬底上形成压电构件；以及去除刚性衬底的一个或多个部分以在刚性衬底中形成一个或多个间隙，从而限定压电构件的至少一个可变形部分和压电构件的至少一个刚性部分。
压电致动器制造方法

[发明专利]多方向致动器-CN201610628314.5有效
发明人： X·刘;R·C·古铁雷斯;M·那克;G·王 -专利权人： 麦斯卓有限公司
申请日： 2016-08-03 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：本申请公开多方向致动器，提供了一种装置。该装置包括双向梳形驱动致动器。该装置还可以包括悬臂梁。悬臂梁包括连接到双向梳形驱动致动器的第一端和连接到内框架的第二端。此外，悬臂梁可以包括用于路由电信号的第一和第二导电层。可以包括多维致动器的公开的装置的实施例允许增加数量的电信号被路由到致动器。此外，公开的装置允许多方向致动，所述多方向致动可以提供增加的运动的控制、精度和灵活性。因此，公开的实施例关于例如在尺寸和功率受限的环境中的光学成像稳定和自动聚焦能力提供了显著益处。
多方致动器

[发明专利]MEMS驱动器-CN201580070431.8有效
发明人：罗曼·古铁雷斯;王宏宇 -专利权人： 麦斯卓有限公司
申请日： 2015-10-15 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：系统和方法提供了致动器控制。致动器控制经由与电压控制相反的电荷控制提供。用于驱动致动器的驱动器可以包括用于将电荷注入到致动器的一个或多个电容元件中的电荷泵。驱动器可以进一步包括用于检测致动器的电容元件的电容的电容检测方面以确定致动器的位置。
mems 驱动器

[发明专利]利用单个像机的三维成像-CN201580070371.X有效
发明人：罗曼·古铁雷斯 -专利权人： 麦斯卓有限公司
申请日： 2015-12-23 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： H04N13/207 文献下载
摘要：系统和方法提供准确的像素深度信息，以应用于单个相机在生成三维(3D)图像时拍摄的单个图像。具体而言，可在例如相机的横向运动期间捕获两个或更多个图像，以确定像素级上的场景中的深度。使用能够提供至少三个稳定轴的光学图像稳定(OIS)系统消除了与产生图像配准问题的传统系统相关的可变性。进一步地，由于正在计算实际的像素深度信息，而不仅仅是生成立体图像以诱使眼睛感知深度，所以被计算的像素深度信息可以以其他方式来利用，诸如仅通过拍摄对象或场景的图片提供自动测量。
利用单个三维成像

[发明专利]挠曲件、包括挠曲件阵列的平台及挠曲件的制作方法-CN201580022662.1有效
发明人：刘小雷;罗曼·古铁雷斯;王桂芹;班森·麦;马修·恩格 -专利权人： 麦斯卓有限公司
申请日： 2015-04-02 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： F16F1/18 文献下载
摘要：一种挠曲件，包括：连接到第一框架的第一支撑端；连接到第二框架的第二支撑端；和将第一支撑端与第二支撑端连接的弯折部分。挠曲件的长度显著大于其宽度，并且，挠曲件的宽度显著大于其厚度。在操作过程中，将挠曲件保持在弯折状态中，在该状态下，挠曲件的刚度明显小于未弯折状态中的刚度。在一个实现方式中，运动台包括连接第一框架和第二框架的挠曲件阵列，其中：第一框架和第二框架基本上在一个平面上；挠曲件阵列在由挠曲件阵列的挠曲件弯折之前基本上位于该平面上；并且，挠曲件阵列在由挠曲件弯折之后基本上弯曲离开该平面。
刚度挠曲

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