[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL元件有效
| 申请号： | 201580041850.9 | 申请日： | 2015-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN106574358B | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 越智贵志;川户伸一;小林勇毅;松永和树;菊池克浩;市原正浩;松本荣一 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;杨艺 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在蒸镀装置(11)中设置有：第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)；与该第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)连接的共用配管(27)；与共用配管(27)连接并且放出来自第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒放出源(29)；与蒸镀颗粒放出源(29)连接的排气阀(32)；和与排气阀(32)连接的排气泵(34)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 有机 el 元件 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：多个蒸镀源；与所述多个蒸镀源连接的至少一个共用配管；与所述至少一个共用配管连接并且放出来自所述多个蒸镀源中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒的至少一个蒸镀颗粒放出源；与所述至少一个蒸镀颗粒放出源连接的排气阀；和与所述排气阀连接的排气泵，所述多个蒸镀源包括：产生主体材料的蒸镀颗粒的第一蒸镀源；和产生掺杂剂材料的蒸镀颗粒的第二蒸镀源，来自所述第一蒸镀源的所述主体材料的蒸镀颗粒和来自所述第二蒸镀源的所述掺杂剂材料的蒸镀颗粒通过一个所述共用配管，从一个所述蒸镀颗粒放出源交替放出，所述第一蒸镀源经由第一开关阀与所述一个共用配管连接，所述第二蒸镀源经由第二开关阀与所述一个共用配管连接，在所述第一开关阀上连接有用于排出来自所述第一蒸镀源的所述主体材料的蒸镀颗粒的第一排气用泵，在所述第二开关阀上连接有用于排出来自所述第二蒸镀源的所述掺杂剂材料的蒸镀颗粒的第二排气用泵。
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