[发明专利]摩擦搅拌接合装置

摘要

本发明提供一种形成有软氮化层(50)的摩擦搅拌接合装置的销(20)。该软氮化层(50)包括铁锂氧化物层(51)和氮化扩散层(52)。氮化扩散层(52)是通过在销(20)的表面的原子与原子间渗透铁锂氧化物层(51)侧的原子而成的。

主权项

1.一种摩擦搅拌接合装置，其具备：上侧旋转轴肩，其配置在工件的上方；下侧旋转轴肩，其配置在所述工件的下方；旋转主轴，其一体地具备所述下侧旋转轴肩，并且将所述上侧旋转轴肩内部贯通；基板，其将该旋转主轴支承为旋转自如；第一致动器，其对所述旋转主轴赋予旋转力；第二致动器，其使所述上侧旋转轴肩沿轴向移动；载荷检测机构，其检测向该第二致动器施加的轴载荷；载荷控制部，其基于从该载荷检测机构得到的载荷信息，来控制所述上侧旋转轴肩向工件施加的载荷；位置传感器，其检测所述下侧旋转轴肩的位置；控制器，其基于来自该位置传感器的位置信息，控制所述下侧旋转轴肩的位置；第一驱动带轮，其安装于所述第一致动器的旋转轴；第一从动带轮，其在由一对轴承夹着的位置设置于旋转主轴；第一带，其架设在所述第一从动带轮和所述第一驱动带轮上；滑块，其移动自如地安装于导轨，该导轨以与所述旋转主轴平行的方式铺设于所述基板；滚珠螺母，其安装于所述滑块；滚珠丝杠，其与所述滚珠螺母螺合且通过支承片旋转自如地支承于所述基板；第二驱动带轮，其安装于所述第二致动器的旋转轴；第二从动带轮，其在一侧的支承片的附近设置于所述滚珠丝杠；以及第二带，其架设在所述第二从动带轮和所述第二驱动带轮上，其中，所述第一致动器和所述第二致动器均不能移动地安装于所述基板，所述第一致动器的旋转轴、所述第二致动器的旋转轴及所述旋转主轴以相互平行的方式排列，通过由所述控制器控制的机器人，使所述基板上下移动，所述第一致动器的轴、所述第二致动器的轴及所述旋转主轴并列配置且被所述机器人支承。