[发明专利]使用电子束处理柔性基板的设备及方法有效
| 申请号： | 201480083186.X | 申请日： | 2014-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN107078008B | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 贡特尔·克莱姆;沃尔克·哈克;罗兰·特拉斯尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/077 | 分类号： | H01J37/077;H01J37/304 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 根据本公开案，提供一种用于处理可移动的基板的带电粒子装置以及一种用于在处理系统中处理移动的基板的方法。带电粒子装置包括源以及束位移装置，源用于形成带电粒子束，以处理沿着运送方向移动的基板，束位移装置用于使带电粒子束从第一束轨迹沿着所述运送方向移动至至少第二束轨迹。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 电子束 处理 柔性 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于处理可移动的基板的带电粒子装置，所述装置包括：源，所述源用于形成带电粒子束，以处理沿着运送方向移动的所述基板；束位移装置，所述束位移装置用于使所述带电粒子束从第一束轨迹沿着所述运送方向移动至至少第二束轨迹；控制器，所述控制器与所述束位移装置通信；以及检测装置，所述检测装置用于检测表示所述带电粒子束中断的错误信号，其中当检测到所述错误信号时，所述控制器适于触发所述束位移装置，以使所述带电粒子束从所述第一束轨迹沿着所述运送方向移动至所述第二束轨迹，并且其中所述带电粒子束的所述中断包括由电弧造成的所述带电粒子束的中断。
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