[发明专利]测量处理装置、测量处理方法和测量处理程序有效
申请号: | 201480083007.2 | 申请日: | 2014-09-02 |
公开(公告)号: | CN107076684B | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 町井畅且;早野史伦;河井章利 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G01N23/046 | 分类号: | G01N23/046 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 日本国东京都千*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于X射线检查装置的测量处理装置,所述X射线检查装置检测穿过放置在放置单元上的试样的预定区域的X射线,以对所述试样的预定区域的形状进行检查,所述测量处理装置包括:设置单元,用于在所述试样上设置待检测的三维区域;以及切片选择单元,用于在所述待检测区域上设置多个切片区域,当所述多个切片区域被视为所述预定区域时,对于所述多个切片区域中的每一个切片区域,计算检测所述待检测区域所需的所述预定区域的位移量,并且基于每个计算的位移量,从所述多个切片区域中选择用于检查的切片区域。 | ||
搜索关键词: | 测量 处理 装置 方法 程序 | ||
【主权项】:
一种用于X射线检查装置的测量处理装置,所述X射线检查装置检测穿过放置在放置单元上的试样的预定区域的X射线,以对所述试样的预定区域的形状进行检查,所述测量处理装置包括:设置单元,用于在所述试样上设置待检测的三维区域;以及切片选择单元,用于在所述待检测区域上设置多个切片区域,当所述多个切片区域被视为所述预定区域时,对于所述多个切片区域中的每一个切片区域,计算检测所述待检测区域所需的所述预定区域的位移量,并且基于每个计算的位移量,从所述多个切片区域中选择用于检查的切片区域。
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