[实用新型]一种用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置有效
| 申请号： | 201420356871.2 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN203976905U | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 苏贵方 | 申请（专利权）人： | 肇庆市大力真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，包括盖板、电擦机构、绝缘机构和靶芯机构，所述靶芯机构的两端分别通过电擦机构和绝缘机构与盖板连接；所述靶芯机构包括靶壳、靶芯、磁钢靶、隔水管和2张密封板，所述靶壳的一端连接于电擦机构，另一端连接于绝缘机构；所述靶芯安装于靶壳内，所述隔水管套于靶芯，所述隔水管的两端通过密封板与靶芯密封连接，所述靶芯、隔水管和密封板形成密封腔，所述磁钢靶安装于靶芯，且所述磁钢靶位于密封腔内。本实用新型的工作可靠性高，制造成本低，且方便安装和维护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 连续 式磁控 镀膜 生产线 装置 | ||
【主权项】：
一种用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，其特征在于：包括盖板、电擦机构、绝缘机构和靶芯机构，所述靶芯机构的一端通过电擦机构与盖板连接，所述靶芯机构的另一端通过绝缘机构与盖板连接；所述靶芯机构包括靶壳、靶芯、磁钢靶、隔水管和2张密封板，所述靶壳的一端连接于电擦机构，另一端连接于绝缘机构；所述靶芯安装于靶壳内，所述隔水管套于靶芯，所述隔水管的两端通过密封板与靶芯密封连接，所述靶芯、隔水管和密封板形成密封腔，所述磁钢靶安装于靶芯，且所述磁钢靶位于密封腔内。
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