[实用新型]一种镀膜机真空冷却装置

摘要

本实用新型的目的是提供一种镀膜机真空冷却装置，包括真空泵、油扩散泵和冷水槽，真空泵与油扩散泵连接在一起，真空泵与镀膜室连接在一起，油扩散泵与镀膜室连接在一起；几根气管上分别设置有前级阀门、预抽气阀门、放气阀门、高真空阀门和冷井；在冷井连接有第一水管和第二水管，其中第一水管连接循环水箱，第二水管连接着冷水槽，循环水箱和冷水槽通过第三水管也连接在一起构成一个循环冷却系统；本装置可以有效地保持镀膜室的真空度，使冷井温度可以有效地降低，使镀膜室的油蒸汽回返率下降，排除了环境温度对镀膜的影响，提高了镀膜室的真空洁净度，镀膜质量提高，适用于生产中。

主权项

一种镀膜机真空冷却装置，包括有真空泵（1）和冷水槽（2），其特征在于：所述真空泵（1）上方连接有第一气管（3），第一气管（3）中间右侧连接有第二气管（4），第二气管（4）上设置有泄气阀门（5）；第一气管（3）中间偏上左侧设置有第三气管（6），第三气管（6）的末端连接有油扩散泵（7），第三气管（6）上设置有前级阀门（8）；第一气管（3）的末端向左连接有第四气管（9），第四气管（9）上设置有预抽气阀门（10）；油扩散泵（7）上方连接有第五气管（11），第五气管（11）的末端连接有镀膜室（12），第五气管（11）上中间偏下部分从下到上依次设置有冷井（13）和高真空阀门（14），第五气管（11）中间偏上右侧连接着第四气管（9），第五气管（11）的上部向左连接有第六气管（15），第六气管（15）上设置有放气阀门（16）；所述冷井（13）左侧从上到下依次设置有第一水管（17）和第二水管（18），第一水管（17）的末端连接有循环水箱（19），第二水管（18）的末端连接着冷水槽（2），循环水箱（19）和冷水槽（2）之间设置有第三水管（20）连接起来。