[发明专利]一种含氮化合物在提高钽抛光速率中的应用在审
| 申请号： | 201410351547.6 | 申请日： | 2014-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN105297025A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 荆建芬;高嫄;姚颖;张建;邱腾飞;潘依君 | 申请（专利权）人： | 安集微电子科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23F3/06 | 分类号： | C23F3/06;C09G1/02 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新区华东路*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种含氮化合物在提高钽抛光速率中的应用，该含氮化合物添加入化学机械抛光液中，且该含氮化合物为以下化合物中的一种或多种：含有1～4个氮原子的杂环化合物及其衍生物，以及胺类化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 提高 抛光 速率 中的 应用 | ||
【主权项】：
一种含氮化合物在提高钽抛光速率中的应用，且所述含氮化合物添加入化学机械抛光液中，其特征在于，所述含氮化合物为以下化合物中的一种或多种：含有1～4个氮原子的杂环化合物及其衍生物，以及胺类化合物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安集微电子科技（上海）有限公司，未经安集微电子科技（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410351547.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
