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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]对准装置-CN201910330671.7有效
发明人： 李硕徽;崔原畅 -专利权人： PSK控股公司;塞米吉尔公司
申请日： 2019-04-23 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种对准形成有槽口部的处理对象的对准装置。本发明的一实施例对准装置包括：支撑部件，放置有处理对象；驱动部，旋转所述支撑部件；推动部件，向放置于所述支撑部件上的处理对象的侧面施加力，而将所述处理对象移动至所述支撑部件上的原位置；槽口部感应部，检测所述处理对象的槽口部是否处于一定位置；控制部，控制所述驱动部，以旋转所述支撑部件而使所述处理对象的槽口部处于所述一定位置。
对准装置

[发明专利]基板处理装置及其方法-CN201410138171.0有效
发明人：朱喆元;李硕徽 -专利权人： PSK有限公司
申请日： 2014-04-08 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置。本发明的基板处理装置包括装载端口，供收纳有基板的卡匣放置；制程室，执行对基板的制程处理；框架，提供于上述装载端口与上述制程室之间，且在内部形成有空间；以及转运机器人，位于上述框架的内部，在上述卡匣与上述制程室之间转运基板。
处理装置及其方法

[发明专利]容纳单元及包括该容纳单元的基板处理装置-CN201410676166.5在审
发明人： 李硕徽 -专利权人： PSK有限公司
申请日： 2014-11-21 - 公布日： 2015-10-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种容纳单元及包括该容纳单元的基板处理装置。本发明的基板处理装置包括：多个工艺室，用于执行对基板的处理工艺；容纳单元，容纳用于使所述工艺室运行的电子装置。所述容纳单元包括：本体，在一面上具有开口；门，用于以推拉式开闭所述开口；铰合部，具备与所述本体固定结合的第一铰合片和与所述门固定结合的第二铰合片；导线，一端电连接于所述本体，另一端电连接于所述门。所述本体和所述门之一接地，所述导线以通过所述铰合部的方式被配置。本发明的基板处理装置，通过强化接地性能，能够提供更加稳定的作业环境。
容纳单元包括处理装置

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